[發明專利]一種硅片清洗液無效
| 申請號： | 201110448381.6 | 申請日： | 2011-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN102533470A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/26 | 分類號： | C11D7/26;C11D7/08 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212211 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片清洗液，其特征在于，由以下成分組成(按重量份數計)：
2.如權利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述表面活性劑脂肪醇聚環氧乙烷醚、烷基酚聚環氧乙烷醚、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基二醇酰胺或甲氧基脂肪酰胺基苯磺酸鈉。
3.如權利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述乙醇的濃度為90-100％，按質量百分比計。
4.如權利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述檸檬酸的濃度為10％，按質量百分比計。
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