[發明專利]FFU化學過濾器的制造方法

無效

• 申請號: 201110447276.0
• 申請日: 2011-12-28
• 公開（公告）號: CN102553393A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 楊興根;徐小浩;耿文韜;李夢琦;包鎮
• 申請（專利權）人: 蘇州華泰空氣過濾器有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;B01D46/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

技術領域

本發明涉及空氣過濾設備，尤其涉及一種用于半導體、液晶、精密電子部件制造廠的潔凈室內，能夠處理分子級氣態污染物的FFU化學過濾器的制造方法，屬于空氣凈化技術領域。

背景技術

在計算機和信息技術的推動下，微電子工業的發展已成為世界技術進步的主要支柱。微電子的技術發展非常迅速，超大規模集成電路制造的硅晶片尺寸越做越大，硅晶片上要求集成更多的芯片，線寬尺寸也越來越窄，生產技術成熟的最窄的線寬已經達到28nm。除了傳統的微塵顆粒，分子級的氣態污染物對芯片次品率的影響也越來越明顯。

美國半導體設備與材料協會（SEMI）將氣載分子污染物（AMC）分為四類：酸類、堿類、可凝聚化合物類、摻雜物類。為了控制潔凈室內的分子級氣態污染物，傳統的做法是在通風管道中的亞高效過濾器前安裝大型的化學過濾器，例如：圓筒式化學過濾器、塑框化學過濾器等。隨著集成電路芯片的線寬越來越窄以及FFU系統的普及，傳統的這些方法已經越來越不能滿足生產發展需要。

FFU（Fan?Filter?Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一，在微電子行業廣泛使用。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。

隨著用戶對潔凈度要求的提高，過濾效果與運行風速之間的矛盾已經成為影響整個FFU系統穩定運行的主要矛盾，因此，必須對FFU系統――特別是其中的化學過濾網進行改進。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術存在的上述問題，提供一種FFU化學過濾器的制造方法，通過對FFU化學過濾網的改進，在保證FFU面風速的前提下，高效處理分子級氣態污染物，為芯片生產工廠等用戶提供合理的潔凈環境。

本發明的技術解決方案是，FFU化學過濾器的制造方法，首先按照以下步驟生產化學過濾網，

①取定量的水溶性膠粘劑，按比例加入增稠劑，使膠粘劑達到所需要的粘度；

②裁取所需規格的泡棉基材，將其浸入上述調制后的膠粘劑中，使得泡棉基材的網骨上形成一層膠粘劑膜；

③將上述泡棉取出，平鋪在架子上，將活性炭充分均勻地粘附在泡棉的骨架上；

④將上述粘有活性炭的泡棉懸空放置，晾干成型，形成單層化學過濾網；

然后，將制得的單層化學過濾網按照所需規格進行裁剪和疊加，放置于FFU的過濾腔中與FFU凈化單元結合，進而完成風機模塊的組裝，即可制成FFU化學過濾器。

進一步地，上述的FFU化學過濾器的制造方法，其中：所述步驟③之前進一步包含活性炭改性步驟，即，將活性炭放入改性溶液中浸漬，然后將活性炭取出，晾置風干或用烘箱在一定溫度下烘干；或者是

所述步驟④之后進一步包含濾網改性步驟，即，將晾干成型的單層化學過濾網放入改性溶液中浸漬，對濾網進行改性，然后將其取出，懸掛風干。

無論是對活性炭進行改性，還是對濾網進行改性，浸漬所用的改性溶液，其酸堿性與制成的FFU化學過濾器在使用環境下欲去除的氣態分子的酸堿性相反。

更進一步地，上述的FFU化學過濾器的制造方法，其中：所述水溶性膠粘劑為聚氨酯膠、丙烯酸膠、聚乙烯醇、丙烯乳液、醋酸乙烯乳液、丁苯橡膠或丁腈橡膠；所述泡棉基材為聚氨酯泡棉；所述活性炭是微球狀活性炭，其直徑范圍為0.3mm～1.0mm。

再進一步地，上述的FFU化學過濾器的制造方法，其中：步驟④處理之后形成的單層化學過濾網，按重量百分數計，活性炭60-65%，膠粘劑20-25%，泡棉基材10-15%。

根據本發明技術方案加工制成的FFU化學過濾器，質量輕、阻力低、吸附速度快、過濾效率高，在不增加較多能耗的情況，能將潔凈室內大氣中的化學污染濃度降到更低，更直接地實時控制分子級氣態污染，在0.36-0.45m/s面風速的情形下，高效處理分子級氣態污染物，為芯片生產工廠等用戶提供合理的潔凈環境，滿足了用戶的需求，促進微電子行業的發展。

具體實施方式