[發(fā)明專利]供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110446952.2
• 申請(qǐng)日: 2011-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102553782A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉正必;崔鍾權(quán);尹青龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/00
• 分類號(hào): B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種分配設(shè)備，包括：

分配器，經(jīng)配置以將原材料涂覆在襯底上；

原材料供應(yīng)模塊，經(jīng)配置以將所述原材料供應(yīng)到所述分配器中；

供應(yīng)管線，一端連接到所述原材料供應(yīng)模塊且另一端連接到所述分配器，所述供應(yīng)管線經(jīng)配置以將從所述原材料供應(yīng)模塊供應(yīng)的所述原材料供應(yīng)到所述分配器中；以及

控制模塊，經(jīng)配置以檢測(cè)所述供應(yīng)管線內(nèi)的壓力，以利用所述供應(yīng)管線內(nèi)的測(cè)得壓力控制從所述原材料供應(yīng)模塊供應(yīng)到所述供應(yīng)管線中的所述原材料的供應(yīng)流動(dòng)速率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配設(shè)備，其特征在于所述原材料供應(yīng)模塊包括：

罐，經(jīng)配置以接收所述原材料；

泵抽組件，一端連接到所述罐且另一端連接到所述供應(yīng)管線，所述泵抽組件經(jīng)配置以利用泵抽力將所述罐中接收到的所述原材料供應(yīng)到所述供應(yīng)管線中；以及

供應(yīng)管道，一端連接到所述罐且另一端連接到所述泵抽組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分配設(shè)備，其特征在于所述供應(yīng)管道包括原材料量檢測(cè)單元，所述原材料量檢測(cè)單元經(jīng)配置以檢測(cè)所述供應(yīng)管道中接收到的所述原材料的量。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分配設(shè)備，其特征在于經(jīng)配置以利用所述原材料的介電常數(shù)差測(cè)量界面高度的電容傳感器用作所述原材料量檢測(cè)單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配設(shè)備，其特征在于所述控制模塊包括經(jīng)配置以檢測(cè)所述供應(yīng)管線內(nèi)的壓力的傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的分配設(shè)備，所述控制模塊包括：

判定單元，經(jīng)配置以將由所述傳感器測(cè)得的所述供應(yīng)管線內(nèi)的壓力與預(yù)設(shè)壓力相比較，以判定所述原材料的供應(yīng)狀態(tài)；以及

控制單元，連接到所述判定單元和所述泵抽組件，以根據(jù)由所述判定單元判定的結(jié)果控制所述泵抽組件，從而調(diào)整泵抽力。

7.一種用于供應(yīng)原材料的方法，包括：

制備襯底并將用于涂覆原材料的分配器設(shè)置在所述襯底的頂表面上；

利用用于供應(yīng)所述原材料的原材料供應(yīng)模塊將所述原材料供應(yīng)到所述分配器中；以及

利用所述分配器將所述原材料涂覆到所述襯底上，

其中所述原材料到所述分配器中的供應(yīng)包括：

利用所述原材料供應(yīng)模塊的泵抽力將所述原材料經(jīng)由供應(yīng)管線供應(yīng)到所述分配器中；

檢測(cè)所述供應(yīng)管線內(nèi)的壓力；

將所述供應(yīng)管線內(nèi)的測(cè)得壓力與所述供應(yīng)管線內(nèi)的預(yù)設(shè)壓力相比較，以判定所述原材料的供應(yīng)狀態(tài)；以及

根據(jù)關(guān)于所述原材料的所述供應(yīng)狀態(tài)的判定的結(jié)果維持、增加或減小所述原材料供應(yīng)模塊的所述泵抽力。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于供應(yīng)原材料的方法，其特征在于當(dāng)所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述測(cè)得壓力等于所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述預(yù)設(shè)壓力時(shí)，所述原材料供應(yīng)模塊的所述泵抽力維持于目前狀態(tài)中。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于供應(yīng)原材料的方法，其特征在于當(dāng)所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述測(cè)得壓力小于所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述預(yù)設(shè)壓力時(shí)，所述原材料供應(yīng)模塊的所述泵抽力增加，以增加供應(yīng)到所述供應(yīng)管線中的所述原材料的流動(dòng)速率。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于供應(yīng)原材料的方法，其特征在于當(dāng)所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述測(cè)得壓力大于所述供應(yīng)管線內(nèi)的所述預(yù)設(shè)壓力時(shí)，所述原材料供應(yīng)模塊的所述泵抽力減小，以減小供應(yīng)到所述供應(yīng)管線中的所述原材料的流動(dòng)速率。

11.根據(jù)權(quán)利要求7至10中任一權(quán)利要求所述的用于供應(yīng)原材料的方法，其特征在于將密封劑和液晶中的一者用作所述原材料。