[發(fā)明專利]工件夾具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110446314.0
• 申請日: 2011-12-28
• 公開（公告）號: CN102569153A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 木下濟
• 申請（專利權(quán)）人: 夏普株式會社
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 閆小龍;王忠忠

1.一種基板搭載用的工件夾具，在蒸鍍設(shè)備中以從下方接受的方式搭載使成膜面朝下的基板，其特征在于，

在內(nèi)徑側(cè)的前端部以平面圖為環(huán)狀的方式設(shè)置有檐狀的階梯部，使得沉積膜在與該基板之間不連續(xù)沉積。

2.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，

所述階梯部的檐和所述基板的間隙是在該基板上形成的沉積膜的膜厚的2倍以上且20倍以下。

3.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，

所述階梯部的檐的進深是在該基板上形成的沉積膜的膜厚的2倍以上且20倍以下。

4.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，

在所述階梯部的檐的里側(cè)設(shè)置有比周圍寬的空間部。

5.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，

從下方接受并支持所述基板的環(huán)狀的外周端緣部，并且，沿著該被支持的該基板的外周端緣部，以平面圖為環(huán)狀的方式設(shè)置有所述檐狀的階梯部。

6.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，

在所述內(nèi)徑側(cè)的前端部設(shè)置的檐狀的階梯部的外周側(cè)，設(shè)置有用于從下方接受并搭載所述基板的階梯部。

7.如權(quán)利要求6所述的工件夾具，其特征在于，

做成如下結(jié)構(gòu)：在從下方接受并搭載所述基板的階梯部，在孔內(nèi)多處設(shè)置有壓縮彈簧，在拆去該基板上的蓋部時，利用該壓縮彈簧使該基板從階梯部浮起。

8.如權(quán)利要求6所述的工件夾具，其特征在于，

在用于搭載所述基板的階梯部的外周側(cè)，設(shè)置有用于從下方接受并搭載蓋部的外周緣部的階梯部，該蓋部的下表面具有與該基板的上表面抵接并按壓該基板的該階梯部的高度。