[發明專利]刀片裝卸裝置

有效

• 申請號: 201110445508.9
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102554666A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 山地周三
• 申請（專利權）人: 東和株式會社
• 主分類號: B23Q3/12
• 分類號: B23Q3/12
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及一種刀片裝卸裝置，特別涉及一種用于相對于用來切斷半導體晶圓等的切削加工裝置安裝、拆卸作為旋轉切削刀的刀片的刀片裝卸裝置。

背景技術

在用于切斷半導體晶圓等被加工物的規定位置而將半導體晶圓分割成最小單位的切削加工裝置中安裝有刀片(旋轉切削刀)。刀片利用刀片裝卸用的螺母及法蘭安裝在切削加工裝置的主軸(spindle)的頂端安裝部位。若刀片消耗、或破損，則需要更換刀片。此外，在改變被加工物的種類、或改變被加工部的加工內容的情況下，也需要適宜地更換刀片。

作為將刀片安裝到主軸的頂端安裝部位的方法，已知有例如使刀片夾持在二個法蘭之間并在該狀態下利用螺母將法蘭安裝到主軸頂端安裝部位的方法。

此外，在專利文獻(日本特開2005-191096號公報)中，提出有用于相對于主軸的頂端安裝部位同時裝卸螺母及法蘭的刀片裝卸裝置。在該刀片裝卸裝置中，在把持被安裝在主軸的頂端安裝部位處的法蘭的狀態下使螺母旋轉，從而同時裝卸法蘭和螺母。

采用上述刀片裝卸裝置，至少能夠一邊把持位于螺母側的法蘭一邊使螺母旋轉。由此，在自主軸的頂端安裝部位拆卸螺母之后，能夠成為螺母和該螺母側的法蘭被保持的狀態，而防止螺母和法蘭脫落。

此外，在該刀片裝卸裝置中，由于能夠在拆卸螺母的同時也拆卸法蘭，因此能夠利用與該拆卸過程相反的過程將所保持的螺母及法蘭安裝到主軸的頂端安裝部位。

這樣，在上述刀片裝卸裝置中，通過同時保持螺母及法蘭，能夠防止螺母等脫落，此外，能夠同時相對于主軸的頂端安裝部位裝卸螺母及法蘭。

發明內容

發明要解決的問題

但是，在上述刀片裝卸裝置中，在相對于主軸的頂端安裝部位僅裝卸螺母、或僅裝卸法蘭的情況下，反而存在缺乏操作性、作業效率變差這樣的問題。

例如，在一邊確認法蘭相對于主軸的頂端安裝部位的安裝狀態、一邊安裝該法蘭時，有時存在當沒有使螺母保持于刀片裝卸裝置時能夠高效并且順暢地進行操作的情況。此外，當一邊進行法蘭的安裝操作、一邊同時進行螺母的安裝操作時，需要更慎重地進行兩者的安裝操作，因此該作業要求熟練性。

本發明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種在相對于主軸的頂端安裝部位裝卸螺母及法蘭時操作性優異的刀片裝卸裝置。

用于解決問題的方案

本發明為一種刀片裝卸裝置，其用于相對于切削加工裝置安裝、拆卸切削用的刀片，該切削加工裝置用于切削加工被加工物，上述刀片裝卸裝置包括：法蘭把持部，其用于進行法蘭的裝卸，該法蘭用于將刀片安裝到切削加工裝置的刀片安裝部位；以及螺母旋轉支承部，其用于進行螺母的裝卸，該螺母用于將刀片安裝到刀片安裝部位。

法蘭把持部包括：套筒狀的法蘭把持部主體；法蘭把持部件，其設置于法蘭把持部主體的周向；以及操作構件，其設置于法蘭把持部主體的外周面，并用于操作法蘭把持部件。

法蘭把持部件包括：第1卡合爪，其能夠以樞軸支承該法蘭把持部件的一端側的第1樞軸支承點為中心，向遠離法蘭把持部主體的第1軸心的第1方向、以及靠近第1軸心的第2方向轉動；以及第1彈性構件，其用于對第1卡合爪向第1方向施力。

法蘭把持部件具有如下功能：使操作構件向法蘭把持部主體的軸向滑動并使第1卡合爪克服第1彈性構件的彈性力而向第2方向轉動，從而使第1卡合爪與形成于刀片安裝部位的第1周槽卡合，相反，利用第1彈性構件的彈性力使第1卡合爪向第1方向轉動，從而使第1卡合爪自第1周槽離開。

螺母旋轉支承部包括：螺母旋轉支承部主體；法蘭把持部裝卸構件，其設置于螺母旋轉支承部，并用于相對于螺母旋轉支承部安裝、拆卸法蘭把持部；以及螺母旋轉構件，其設置于螺母旋轉支承部主體。

法蘭把持部裝卸構件包括：第2卡合爪，其能夠以樞軸支承該法蘭把持部裝卸構件的一端側的第2樞軸支承點為中心，向遠離螺母旋轉支承部主體的第2軸心的第3方向、以及靠近第2軸心的第4方向轉動；以及第2彈性構件，其用于對第2卡合爪向第3方向施力。

法蘭把持部裝卸構件具有如下功能：利用第2彈性構件的彈性力使第2卡合爪向第3方向轉動，使第2卡合爪與形成于法蘭把持部主體的內周面的第2周槽卡合，從而將法蘭把持部安裝于螺母旋轉支承部，相反，使第2卡合爪克服第2彈性構件的彈性力而向第4方向轉動，使第2卡合爪自第2周槽離開，從而自螺母旋轉支承部拆卸法蘭把持部。