[發(fā)明專利]十二邊形氧化鋅回音壁模紫外微激光異質(zhì)結(jié)二極管的制備無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110444006.4 | 申請(qǐng)日： | 2011-12-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102496852A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐春祥;戴俊;朱剛毅;石增良 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01S5/10 | 分類號(hào)： | H01S5/10;H01S5/32 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 十二 氧化鋅 回音壁 紫外 激光 異質(zhì)結(jié) 二極管 制備 | ||
1.一種十二邊形氧化鋅回音壁模紫外微激光異質(zhì)結(jié)二極管的制備方法，其特征在于該制備方法具體如下：
第一步：將純度均為99.99％以上的氧化鋅粉末和碳粉末按質(zhì)量比1∶1混合后充分研磨，將上述研磨粉末作為反應(yīng)源填入陶瓷舟內(nèi)；將硅片經(jīng)丙酮、無(wú)水乙醇和去離子水依次超聲清洗后吹干，將該硅片拋光面朝下覆蓋在陶瓷舟上方；隨后將陶瓷舟放置于兩端開(kāi)口的試管中，并將該試管推入溫度為1100℃-1150℃的管式爐中，經(jīng)過(guò)20至30分鐘的反應(yīng)時(shí)間，具有十二邊形截面的氧化鋅微米棒陣列生長(zhǎng)于硅片表面；
第二步：將上一步制備的氧化鋅微米棒陣列分散在乙醇溶液中，然后將該溶液旋涂在p型氮化鎵襯底表面上形成pn結(jié)；
第三步：利用丙酮溶解聚甲基丙烯酸甲酯PMMA顆粒形成透明均勻溶液，利用勻膠機(jī)將之旋涂于第二步制備好的樣品表面，形成的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜完全覆蓋的pn結(jié)；
第四步：將第四步制備好的覆蓋有聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜的樣品置于反應(yīng)離子刻蝕機(jī)腔體內(nèi)進(jìn)行刻蝕，使氧化鋅微米棒的上表面暴露出來(lái)；
第五步：通過(guò)射頻磁控濺射方法，在p型氮化鎵表面制備鎳金復(fù)合薄膜形成歐姆接觸電極，在氧化鋅表面制備金薄膜形成歐姆接觸電極；
第六步：將制得的pn結(jié)器件進(jìn)行電學(xué)性質(zhì)測(cè)量，并測(cè)量電泵浦激光光譜。
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