[發明專利]高性能陶瓷張力傳感器

無效

• 申請號: 201110443206.8
• 申請日: 2011-12-27
• 公開（公告）號: CN102539034A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 徐興才;徐雷;沈永紅;江波
• 申請（專利權）人: 無錫市中昊微電子有限公司
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.高性能陶瓷張力傳感器，包括測力桿、條狀陶瓷片以及陶瓷固定座；其特征在于，所述條狀陶瓷片正面粘接測力桿，背面粘接彈性體陶瓷固定座；所述條狀陶瓷片作為從陶瓷固定座到測力桿之間的力矩；所述條狀陶瓷片為一力敏彈性體，該力敏彈性體正反面各設置兩個應變電阻，同時通過力敏彈性體上設置的通孔將這四個應變電阻互聯形成一個惠斯頓電橋；并通過激光修調系統將惠斯頓電橋調至零位；所述測力桿感知張力信號后，通過使力敏彈性體產生微量形變，從而使得整個張力傳感器通過電橋輸出與張力信號精密線性相關的毫伏級線性電壓。

2.根據權利要求1的高性能陶瓷張力傳感器，其特征在于，所述條狀陶瓷片為采用三氧化二鋁陶瓷為材料的力敏彈性體。

3.根據權利要求1的高性能陶瓷張力傳感器，其特征在于，所述應變電阻為電阻漿料采用精密Hybrid工藝在850℃燒結在力敏彈性體上的。

4.根據權利要求1的高性能陶瓷張力傳感器，其特征在于，所述傳感器四個應變電阻所串聯成的激光零位修調電阻還設置有用來克服溫度飄移的PTC電阻和NTC電阻。

5.根據權利要求1的高性能陶瓷張力傳感器，其特征在于，所述測力桿軸心與正反面四個應變電阻軸心相垂直。