[發明專利]薄片盤狀物清洗甩干器

有效

• 申請號: 201110441878.5
• 申請日: 2011-12-26
• 公開（公告）號: CN103177934A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 凱里·雷;王浩
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B08B3/02
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;韓國勝

1.一種薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，包括：

甩干裝置，其上具有第一噴嘴、第二噴嘴和真空孔，分別與液體管、氣體管和真空管連接；

卡盤，設置在所述甩干裝置的下方，能夠與所述甩干裝置一起旋轉。

2.如權利要求1所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述甩干裝置包括交叉設置的第一甩干臂和第二甩干臂，所述第一甩干臂中具有與第一噴嘴連通的液體管路，所述第二甩干臂中具有與第二噴嘴連通的氣體管路。

3.如權利要求2所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述第二甩干臂兩端的真空孔與其內部的真空管路連接。

4.如權利要求2所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，第一甩干臂和第二甩干臂的交叉點設置有通管。

5.如權利要求4所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盤包括若干根支架，各個所述支架的連接端設置有通孔。

6.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述通管位于所述通孔中。

7.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述支架為L型，一端連接，另一端朝向上方且具有卡件。

8.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盤與驅動裝置連接。

9.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述支架的個數為三個。