[發明專利]一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置

無效

• 申請號: 201110440125.2
• 申請日: 2011-12-26
• 公開（公告）號: CN102519610A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 何煦;向陽
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，該裝置包括：剪切光柵(1)、掩模板組件和基座(4)，其特征在于，該裝置還包括：一維小行程高分辨率位移組件(2)、一維大行程位移組件(3)和相移器調平組件(5)；所述剪切光柵(1)位于一維小行程高分辨率位移組件(2)內并固定在一維小行程高分辨率位移組件(2)上；掩模板組件固定在一維小行程高分辨率位移組件(2)底部的固定基板(7)上，與一維小行程高分辨率位移組件(2)保持相對靜止，一維小行程高分辨率位移組件(2)固定在一維大行程位移組件(3)上，一維大行程位移組件(3)固定在基座(4)上，相移器調平組件(5)與基座(4)底部連接。

2.如權利要求1所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述一維小行程高分辨率位移組件(2)包括：基板(7)、壓板(6)、壓電陶瓷(8)和復合柔性平行四桿機構(9)；剪切光柵(1)上表面通過壓板(6)固定在基板(7)上，壓電陶瓷(8)與基板(7)的左側連接，在基板(7)上加工出復合柔性平行四桿機構(9)。

3.如權利要求2所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述復合柔性平行四桿機構(9)通過在基體上線切割技術、電火花、慢走絲精密加工方法加工出圓弧和縫隙，在圓弧切口處形成彈性支點而與基體加工后剩余部分成為一體。

4.如權利要求1所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述一維大行程位移組件(3)包括：V形滾珠導軌(10)、導軌滑臺(11)、自鎖緊彈簧(12)、導軌基板(13)和微分鼓輪(14)；V形滾珠導軌(10)固定在導軌基板(13)的兩側，導軌滑臺(11)位于導軌基板(13)內側，微分鼓輪(14)與導軌基板(13)一端連接，自鎖緊彈簧(12)與導軌基板(13)另一端連接。

5.如權利要求4所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述導軌基板(13)采用4J32材料。

6.如權利要求1所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述相移器調平組件(5)包括：第二壓電陶瓷(15)、頂桿(16)、球節(17)和預緊彈簧(18)；第二壓電陶瓷(15)的上端與頂桿(16)下端連接；頂桿(16)上端與球節(17)下端連接；預緊彈簧(18)固定在頂桿(16)兩側。

7.如權利要求1所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述剪切光柵(1)側面有凹槽，下表面通過聚四氟乙烯材料的墊片與一維小行程高分辨率位移組件(2)固定。

8.如權利要求1所述的一種高精度橫向剪切干涉儀相移裝置，其特征在于，所述掩模板組件通過在鍍鉻融石英材料上刻蝕出兩個通光窗口后粘接在一維小行程高分辨率位移組件(2)的基板(7)上。