[發(fā)明專(zhuān)利]一種溫度傳感器的制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110439829.8
• 申請(qǐng)日: 2011-12-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102539004A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪松林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 重慶市偉岸測(cè)器制造股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01K7/18
• 分類(lèi)號(hào): G01K7/18
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種溫度傳感器的制作方法，其特征在于包括如下步驟：

1)制作襯底：選用硅片或藍(lán)寶石，然后在該硅片或藍(lán)寶石上刻上網(wǎng)格，從而制得襯底；

2)淀積：將步驟1)得到的襯底用酸性溶液清洗干凈，然后在刻有網(wǎng)格的襯底表面沉積一層絕緣材料制成基片；

3)濺射：在磁控濺射臺(tái)上采用磁控濺射的方式將鉑濺射在步驟2)所制得的基片上；

4)第一次退火：將步驟3)所得到的產(chǎn)品放在退火爐中進(jìn)行退火，使鉑老化，從而提高鉑的性能穩(wěn)定性；

5)第一次光刻：根據(jù)設(shè)計(jì)要求，將步驟4)所得到的產(chǎn)品進(jìn)行光刻，把需要的部分留下，不需要的部分去掉；

6)金屬化：在步驟5)得到的產(chǎn)品的在引線處磁控濺射一層金；

7)第二次退火：將步驟6)得到的產(chǎn)品的金層放在退火爐中進(jìn)行退火，使金老化，從而提高金的性能穩(wěn)定性；

8)第二次光刻：對(duì)步驟7)所得到的產(chǎn)品的金層進(jìn)行光刻，把需要的部分留下，不需要的部分去掉；

9)測(cè)試：將步驟8)得到的產(chǎn)品根據(jù)設(shè)計(jì)進(jìn)行測(cè)試；

10)修調(diào)：采用激光修調(diào)儀對(duì)步驟9)得到的產(chǎn)品進(jìn)行修調(diào)，使其達(dá)到設(shè)計(jì)的精度；

11)劃片、切挑：根據(jù)設(shè)計(jì)對(duì)步驟10)得到的產(chǎn)品進(jìn)行劃片，將其化成若干個(gè)單元，并對(duì)劃出的單元進(jìn)行切挑，每個(gè)單元中鉑層的兩端分別連接有金層；

12)鍵合引線：采用鍵合機(jī)對(duì)步驟11)所得到的產(chǎn)品進(jìn)行線連接，將引線連接金層上；

13)封裝：采用蠟和外殼將步驟12)得到的產(chǎn)品進(jìn)行封裝，從而得到成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求所述的一種溫度傳感器的制作方法，其特征在于：步驟4)中第一次退火，將步驟3)所得到的產(chǎn)品放入充滿(mǎn)惰性氣體的退火爐中，加熱至溫度為400℃～500℃后冷卻到爐溫，退火時(shí)間為半個(gè)小時(shí)。

3.根據(jù)權(quán)利要求所述的一種溫度傳感器的制作方法，其特征在于：步驟7)中第二次退火，將步驟6)所得到的產(chǎn)品放入充滿(mǎn)惰性氣體的退火爐中，加熱至溫度為400℃～500℃后冷卻到爐溫，退火時(shí)間為半個(gè)小時(shí)。