[發(fā)明專利]壓電單晶和其制備方法、以及利用該壓電單晶的壓電部件和介電部件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110439775.5 | 申請日: | 2006-11-06 |
| 公開(公告)號: | CN102492989A | 公開(公告)日: | 2012-06-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李壕用;李瑆敏;金董皓 | 申請(專利權)人: | 賽若樸有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/22 | 分類號: | C30B29/22;C30B1/02;H01L41/18 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產(chǎn)權代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁紀鐵 |
| 地址: | 韓國忠*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 制備 方法 以及 利用 部件 | ||
1.一種含鋯的鈣鈦礦型壓電單晶([A][B]O3),其特征在于:其具有如下化學式8:
[A][(MN)(1-x-y)TixZry]O3+cP
在上述化學式中,A表示從Pb、Sr、Ba和Bi中的至少一種物質,M表示從Ce、Co、Fe、In、Mg、Mn、Ni、Sc和Yb中的至少一種物質,N則表示Nb、Sb、Ta和W中的一種物質,x和y需分別滿足以下條件:
0.05≤x≤0.58(摩爾比);
0.05≤y≤0.62(摩爾比);
P為包含至少一個選自由金屬和氧化物組成的組中的強化第二相,且c滿足以下條件:
0.001≤c≤0.20(摩爾比)。
2.按照權利要求1所述的壓電單晶,其特征在于,所述壓電單晶具有如下化學式9組成:
[Pb][(MN)(1-x-y)TixZry]O3+cP。
3.按照權利要求1所述的壓電單晶,其特征在于,所述壓電單晶具有如下化學式10組成:
[A][((M)(Nb))(1-x-y)TixZry]O3+cP。
4.按照權利要求1所述的壓電單晶,其特征在于,所述壓電單晶具有如下化學式11組成:
[Pb(1-a-b)SraBab][((Mg,Zn)1/3Nb2/3)(1-x-y)TixZry]O3+cP。
上述化學式中,a的摩爾比范圍為0.0≤a≤0.1;b的摩爾比范圍為0.0≤b≤0.6。
5.按照權利要求1所述的壓電單晶,其特征在于,所述壓電單晶具有如下化學式12組成:
[Pb][((Mg(1-a)Zna)1/3Nb2/3)(1-x-y)TixZry]O3+cP,上述化學式中,x的摩爾比范圍為0.20≤x≤0.58;a的摩爾比范圍為0.0≤a≤0.5。
6.按照權利要求1所述的壓電單晶,其特征在于,所述壓電單晶具有如下化學式13組成:
[Pb][(Mg1/3Nb2/3)(1-x-y)TixZry]O3+cP,
上述化學式中,x的摩爾比范圍為0.25≤x≤0.58。
7.按照權利要求1-6中任一項所述的壓電單晶,其特征在于:所述強化第二相P進一步包括氣孔。
8.按照權利要去1-6中任一項所述的壓電單晶,其特征在于:所述強化第二相P為Au、Ag、Ir、Pt、Pd、Rh、MgO和ZrO2中至少一種。
9.按照權利要求1-6中任一項所述的壓電單晶,其特征在于:所述強化第二相P以粒子的形式均勻分布在所述壓電單晶中,或者以既定的圖案規(guī)則分布在所述壓電單晶中。
10.按照權利要求1-6中任一項所述的壓電單晶,其特征在于:所述壓電單晶中的x和y為屬于從菱形晶相和正方晶相之間的變晶相界的組成的10mol%的范圍之內。
11.按照權利要求10所述的壓電單晶,其特征在于:所述壓電單晶中的x和y為屬于從菱形晶相和正方晶相之間的變晶相界的組成的5mol%的范圍之內。
12.按照權利要求1-6中任一項所述的壓電單晶,其特征在于:所述壓電單晶的居里溫度Tc為180度以上,且菱形晶相和正方晶相間的相變溫度TRT在100度以上。
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