[發明專利]一種石墨材質基板表層氮化硅的清洗方法

有效

• 申請號: 201110439202.2
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN102489468A
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發明（設計）人: 趙強;李龍
• 申請（專利權）人: 保定天威英利新能源有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B3/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種石墨材質基板表層氮化硅的清洗方法，其特征在于，包括：

在清洗槽內采用氫氟酸溶液對表層覆有氮化硅的石墨材質基板進行清洗，直至去除石墨材質基板表層的氮化硅。

2.根據權利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述氫氟酸溶液的濃度為3％～15％。

3.根據權利要求1所述清洗方法，其特征在于，在清洗槽內采用氫氟酸溶液對表層覆有氮化硅的石墨材質基板進行清洗，具體包括：

將石墨材質基板置于清洗槽內，且使石墨材質基板上覆有氮化硅的一面朝下放置；

向所述清洗槽內通入清水，使所述清水淹沒所述石墨材質基板，并記錄通入清水的體積；

向所述清洗槽內通入濃度為40％的氫氟酸，且使通入的氫氟酸的體積與清洗槽內清水的體積比為1∶4～1∶10。

4.根據權利要求1所述清洗方法，其特征在于，在清洗槽內采用氫氟酸溶液對表層覆有氮化硅的石墨材質基板進行清洗，具體包括：

將石墨材質基板置于清洗槽內，且使石墨材質基板上覆有氮化硅的一面朝下放置；

采用體積比在1∶4～1∶10之間的濃度為40％的氫氟酸和清水配制氫氟酸溶液；

將配制好的氫氟酸溶液通入清洗槽內，使所述氫氟酸溶液淹沒所述石墨材質基板。

5.根據權利要求1所述清洗方法，其特征在于，在清洗槽內采用氫氟酸溶液去除石墨材質基板表層的氮化硅，具體包括：

使表層覆有氮化硅的石墨材質基板在氫氟酸溶液中浸泡8h～16h。

6.根據權利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述去除石墨材質基板表層的氮化硅之后還包括：

將清洗槽內的氫氟酸溶液排放出去；

向所述清洗槽內通入清水，且使所述清水淹沒所述石墨材質基板；

使所述石墨材質基板在所述清水中浸泡8h。

7.根據權利要求6所述清洗方法，其特征在于，使所述石墨材質基板在所述清水中浸泡8h之后還包括：

將清洗槽內的清水排放出去；

再次向所述清洗槽內通入清水，且使通入的清水淹沒所述石墨材質基板；

再次使所述石墨材質基板在清水中浸泡8h。

8.根據權利要求7所述清洗方法，其特征在于，再次使所述石墨材質基板在清水中浸泡8h，之后還包括：

將所述石墨材質基板從清洗槽內撈出并晾干。

9.根據權利要求1～8任一項所述清洗方法，其特征在于，所述清洗槽的制作材料為耐強酸材料。

10.根據權利要求9所述清洗方法，其特征在于，所述清洗槽的制作材料為聚氯乙烯。