[發(fā)明專利]PVD設(shè)備工藝控制方法和PVD設(shè)備工藝控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110439122.7
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN103173734A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊洋
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種PVD設(shè)備工藝控制方法，其特征在于，包括下列步驟：

步驟1，控制加熱裝置以第一設(shè)定功率對反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱；

步驟2，對所述反應(yīng)腔室的溫度進(jìn)行檢測，得出所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度；

步驟3，判斷所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度是否大于第一設(shè)定溫度；若是，則執(zhí)行步驟4；否則，返回步驟1；

步驟4，控制所述加熱裝置以第二設(shè)定功率對所述反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱，執(zhí)行步驟5；

步驟5，判斷所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度是否小于第二設(shè)定溫度；若是，則返回步驟1；否則，返回步驟4。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PVD設(shè)備工藝控制方法，其特征在于，所述方法，還包括時間監(jiān)控步驟：

在開始執(zhí)行步驟1的同時，啟動計(jì)時器；

在執(zhí)行步驟1至步驟5的過程中，判斷所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于或者等于預(yù)設(shè)時長；

若判斷出所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間等于預(yù)設(shè)時長，則停止執(zhí)行所述PVD設(shè)備工藝控制方法；

若判斷出所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于預(yù)設(shè)時長，則繼續(xù)執(zhí)行所述判斷所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于或者等于預(yù)設(shè)時長的步驟。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的PVD設(shè)備工藝控制方法，其特征在于，所述第一設(shè)定溫度根據(jù)警告溫度設(shè)置，所述第二設(shè)定溫度根據(jù)所述第一設(shè)定溫度設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的PVD設(shè)備工藝控制方法，其特征在于，所述第一設(shè)定溫度小于警告溫度，所述第二設(shè)定溫度小于所述第一設(shè)定溫度，所述第二設(shè)定功率小于所述第一設(shè)定功率。

5.一種PVD設(shè)備工藝控制裝置，其特征在于，包括：

第一控制模塊，用于控制加熱裝置以第一設(shè)定功率對反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱；

溫度檢測模塊，用于對所述反應(yīng)腔室的溫度進(jìn)行檢測，得出所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度；

第一判斷模塊，用于判斷所述溫度檢測模塊檢測得出的所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度是否大于第一設(shè)定溫度；

第二控制模塊，用于根據(jù)所述第一判斷模塊判斷出的所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度大于所述第一設(shè)定溫度，控制所述加熱裝置以第二設(shè)定功率對所述反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱；

第二判斷模塊，用于判斷所述溫度檢測模塊檢測得出的所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度是否小于第二設(shè)定溫度；

第三控制模塊，用于根據(jù)所述第二判斷模塊判斷出的所述反應(yīng)腔室的當(dāng)前腔室溫度小于第二設(shè)定溫度，觸發(fā)所述第一控制模塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PVD設(shè)備工藝控制裝置，其特征在于，還包括：

計(jì)時器控制模塊，用于在所述第一控制模塊開始執(zhí)行所述控制加熱裝置以第一設(shè)定功率對反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱的同時，啟動計(jì)時器；

第三判斷模塊，用于判斷所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于或者等于預(yù)設(shè)時長，若判斷出所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于預(yù)設(shè)時長，繼續(xù)執(zhí)行所述判斷所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間小于或者等于預(yù)設(shè)時長的步驟；

停止模塊，用于若所述第三判斷模塊判斷出所述計(jì)時器記錄的執(zhí)行時間等于預(yù)設(shè)時長，停止執(zhí)行所述PVD設(shè)備工藝控制方法。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的PVD設(shè)備工藝控制裝置，其特征在于，所述第一設(shè)定溫度根據(jù)警告溫度設(shè)置，所述第二設(shè)定溫度根據(jù)所述第一設(shè)定溫度設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的PVD設(shè)備工藝控制裝置，其特征在于，所述第一設(shè)定溫度小于警告溫度，所述第二設(shè)定溫度小于所述第一設(shè)定溫度，所述第二設(shè)定功率小于所述第一設(shè)定功率。