[發(fā)明專利]平面光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及其制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110439035.1
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN102436028A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋齊望;孫麥可
• 申請（專利權(quán)）人: 宋齊望;孫麥可
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/136
• 代理公司: 北京中恒高博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11249
• 代理人: 姜萬林

1.一種平面光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括錐形段波導(dǎo)（1）和恒徑段波導(dǎo)（2），所述錐形段波導(dǎo)（1）與波導(dǎo)器件相連，其波導(dǎo)芯橫截面為錐形，寬度沿光纖到光波導(dǎo)方向逐漸減小，由N個(gè)波導(dǎo)芯（3）組成，且沿著光纖到光波導(dǎo)方向，波導(dǎo)芯(3)長度逐漸增加，各波導(dǎo)芯（3）間的間隙長度逐漸減小，該波導(dǎo)芯（3）四周充滿包層材料；

所述恒徑段波導(dǎo)（2）與光纖相連，由M個(gè)具有相同長度的波導(dǎo)芯（3）組成，各個(gè)波導(dǎo)芯(3)間的間隙長度相同，該波導(dǎo)芯(3)四周均充滿包層材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于，?所述N至少為3個(gè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于，?所述M為4-15個(gè)。

4.一種如權(quán)利要求1至3所述的平面光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

選用二氧化硅或硅作為襯底（4），在襯底（4）上生長下包層（5）和波導(dǎo)芯層（6），該波導(dǎo)芯層（6）中摻雜有二氧化硅，使波導(dǎo)芯層（6）折射率略高于襯底（4）；

在上述波導(dǎo)芯層（6）上使用光刻的方法形成具有一定波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光刻膠（7）；

將多余的上述摻雜波導(dǎo)芯層（6）腐蝕掉；

將多余的上述光刻膠（7）去除；

在下包層（5）上形成一層能完全覆蓋波導(dǎo)芯層（6）的折射率與下包層（5）相同的上包層（8）。