[發(fā)明專利]一種光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110436683.1
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN103176366A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設計）人: 吳飛;陳軍;袁志揚;劉劍;劉育;郭琳
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，包括Y向滑臺，Y向導軌和五連桿機構，所述Y向滑臺通過氣浮軸承設置在所述Y向導軌上，所述五連桿機構一端連接于所述Y向滑臺，另一端通過線纜設施連接于硅片臺，其中，所述Y向滑臺由電機驅動在Y向與硅片臺保持同步運動，所述線纜設施經(jīng)由所述Y向滑臺沿所述五連桿機構輸送到所述硅片臺上，所述五連桿機構具有主動驅動關節(jié)，用于驅動所述五連桿機構沿X向運動，從而帶動所述線纜設施沿X向運動。

2.根據(jù)權利要求1所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述五連桿機構包括五根連桿，形成A字形連接，其中靠近所述Y向滑臺的兩根連桿的端點分別固定于所述Y向滑臺的兩點，單獨的中間連桿連接于上述兩根連桿的中間段，靠近所述硅片臺的兩根連桿的一端分別與靠近所述Y向滑臺的兩根連桿相連，另一端彼此相連形成尖端并通過所述線纜設施與所述硅片臺柔性連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述五根連桿的端點都設有旋轉軸樞和軸承，使得所述五連桿機構向正Y方向或負Y方向折彎，從而帶動靠近所述硅片臺的所述五連桿機構的尖端沿X方向水平運動。

4.根據(jù)權利要求2所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，在靠近所述Y向滑臺的兩根連桿其中之一的末端設置有限位銷或角度限位裝置，用以限定所述五連桿機構僅在單向設計角度的范圍內(nèi)偏轉，所述連桿末端同時設置有復位彈簧。

5.根據(jù)權利要求2所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述五根連桿內(nèi)側面和/或外側面設置有用于線纜設施走線的卡扣。

6.根據(jù)權利要求2所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，靠近所述硅片臺的兩根連桿設置有用來測量連桿相對于硅片臺空間位置的平面三自由度位移傳感器。

7.根據(jù)權利要求2所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述五連桿機構為懸臂結構，所述五根連桿選用鋁合金、鎂合金、鈦合金、碳纖維、陶瓷或者其他無磁性材料來加工制造。

8.根據(jù)權利要求1所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述主動驅動關節(jié)由旋轉電機驅動，所述旋轉電機采用直流伺服電機，電機軸上設置有旋轉編碼器或者圓光柵，用來測量和控制電機轉角。

9.根據(jù)權利要求1所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述五連桿機構和硅片臺之間通過所述線纜設施的線纜柔性連接。

10.根據(jù)權利要求9所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述線纜的長度為10mm～20mm。

11.根據(jù)權利要求1所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述硅片臺為平面氣浮單硅片臺、平面氣浮多硅片臺、平面磁浮單硅片臺或者平面磁浮多硅片臺。

12.根據(jù)權利要求1所述的光刻機硅片臺的主動驅動線纜臺，其特征在于，所述線纜設施包括通信線纜、功率線纜、氣管、水管。