[發明專利]多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統及其真空抽取方法

有效

• 申請號: 201110434068.7
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102518577A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 于鯤;陳箬倫;許智勇
• 申請（專利權）人: 北京華誠浩達真空空壓設備有限公司
• 主分類號: F04B41/00
• 分類號: F04B41/00;F17C1/12
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所 11004
• 代理人: 劉湘舟;朱麗巖

1.一種多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：包括有真空機組（1）、三通管件A（2）、旁通閥（3）、前級閥（4）、三通管件B（5）、維持閥（6）、維持泵（7）、系統主泵（8）、水冷阱（9）、三通系統主閥（10）、液氮冷阱（11）和真空系統管路（12），其中真空機組（1）中包括有主機械泵（19）和增壓泵（20），真空系統管路（12）上間隔設置有杜瓦罐夾層口接口（13），真空系統管路（12）上還設置有熱氮接口（14）；

所述主機械泵（19）的吸氣端與增壓泵（20）的出氣端連通，增壓泵（20）的吸氣端與三通管件A（2）的第一個端口連通，三通管件A（2）的第二個端口通過前級閥（4）與三通管件B（5）的第一個端口連通，三通管件B（5）的第二個端口通過維持閥（6）與維持泵（7）的吸氣端連通，三通管件B（5）的第三個端口與系統主泵（8）的出氣端連通，系統主泵（8）的吸氣端通過水冷阱（9）與三通系統主閥（10）的第一個端口連通，三通系統主閥（10）的第二個端口通過旁通閥（3）與三通管件A（2）的第三個端口連通，三通系統主閥（10）的第三個端口通過液氮冷阱（11）與真空系統管路（12）連通。

2.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述真空系統管路（12）上還設置有電阻規和電離規測點接口（15）。

3.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述真空系統管路（12）為環形管路、U形管路、T形管路或一字形管路。

4.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述主機械泵（19）的吸氣端通過真空專用不銹鋼連接軟管A（16）與增壓泵（20）的出氣端連通。

5.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述增壓泵（20）的吸氣端通過真空專用不銹鋼連接軟管B（17）與三通管件A（2）的第一個端口連通。

6.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述三通系統主閥（10）的第三個端口通過液氮冷阱（11）與真空專用不銹鋼連接軟管C（18）的一端連通，真空專用不銹鋼連接軟管C（18）的另一端又與真空系統管路（12）連通。

7.根據權利要求1所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，其特征在于：所述系統主泵（8）是擴散泵或分子泵，所述主機械泵（19）是旋片泵或滑閥泵，所述增壓泵（20）是羅茨泵。

8.一種應用上述權利要求1至7中任意一項所述的多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統的杜瓦罐夾層真空抽取方法，其特征在于步驟如下：

步驟一、將需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業的杜瓦罐通過封存工裝連接到多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統中的杜瓦罐夾層口接口（13）上，同時將電加熱棒從杜瓦罐罐口插入罐中加熱，加熱溫度不低于100攝氏度；

步驟二、啟動主機械泵（19），同時旁通閥（3）打開，并且使三通系統主閥（10）與旁通閥（3）連通、與系統主泵（8）斷開，真空機組（1）通過旁通閥（3）和三通系統主閥（10）與真空系統管路（12）連通，然后當增壓泵（20）的吸氣端的真空度達到3000Pa時，啟動增壓泵（20）；

步驟三、啟動維持泵（7），維持閥（6）也同時打開，當維持泵（7）的吸氣端的真空度達到5Pa時，啟動系統主泵（8），同時啟動給系統主泵（8）降溫用的冷水機；

步驟四、當真空系統管路（12）中的真空度達到5Pa時，旁通閥（3）關閉，增壓泵（20）關閉，然后通過熱氮接口（14）向真空系統管路（12）內充不低于100攝氏度的加熱氮氣，氮氣充完后，再打開旁通閥（3），然后當增壓泵（20）的吸氣端的真空度達到3000Pa時，再次啟動增壓泵（20）；

步驟五、當真空系統管路（12）中的真空度再次達到5Pa時，關閉旁通閥（3）、維持閥（6）和維持泵（7），同時打開前級閥（4），并且使三通系統主閥（10）與系統主泵（8）連通，此時真空機組（1）和系統主泵（8）與真空系統管路（12）連通，真空機組（1）作為系統主泵（8）的前級部分輔助系統主泵（8）抽取真空系統管路（12）；

步驟六、當真空系統管路（12）遠離液氮冷阱（11）的一端的真空度達到5E-4Pa時，杜瓦罐夾層真空抽取結束，此時通過封存工裝將杜瓦罐夾層口與真空系統管路（12）切斷并密封，然后使三通系統主閥（10）與系統主泵（8）斷開，通過熱氮接口（14）向真空系統管路（12）內充不低于100攝氏度的加熱氮氣，多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統完成一次杜瓦罐夾層抽真空作業；

步驟七、更換新的需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業的杜瓦罐，關閉前級閥（4），打開旁通閥（3），真空機組（1）通過旁通閥（3）和三通系統主閥（10）與真空系統管路（12）連通，然后重復步驟三至步驟六，直至不再需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業為止；

步驟八、關停多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統，即先停系統主泵（8），再停增壓泵（20）和主機械泵（19），然后由維持泵（7）執行系統主泵降溫時的壓力需求，待系統主泵（8）的溫度降下來后，再關閉維持泵（7），最后關閉所有開著的閥門和總電源。