[發(fā)明專利]反射鏡雙程放大軟X射線激光出光靶裝置及調(diào)節(jié)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110434045.6
• 申請(qǐng)日: 2011-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN102510003A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安紅海;王琛;方智恒;熊俊;孫今人;王世績
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海激光等離子體研究所
• 主分類號(hào): H01S4/00
• 分類號(hào): H01S4/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種反射鏡雙程放大軟X射線激光出光靶裝置，包括一個(gè)長方形的靶架固定底板(118)，在該靶架固定底板(118)上的一端橫向地固設(shè)有多層膜反射鏡架(112)，該多層膜反射鏡架設(shè)置多層膜反射鏡(106)，在所述的靶架固定底板(118)上自另一端至所述的多層膜反射鏡架(112)，依次的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)縱向成列、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)縱向成列并通過各自的靶架和靶座縱向地列放在所述的靶架固定底板(118)上的兩條平行的直線上，所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面與所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面相向并處于同一高度，所述的靶架固定底板(118)通過燕尾形連桿(119)固定在調(diào)節(jié)平臺(tái)(120)上，其特征是：在所述的第四出光靶(104)和所述的多層膜反射鏡架(112)之間還設(shè)有輔助靶(105)，該輔助靶(105)通過輔助靶架(111)和輔助靶座(117)設(shè)置在所述的靶架固定底板(118)上，所述的輔助靶(105)的主軸與所述的第一出光靶(101)、第二出光靶(102)、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的主軸所在的平面夾角(304)為45°～90°，所述輔助靶(105)的上端高于所述的多層膜反射鏡支架(112)的上邊緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的出光靶裝置，其特征在于所述的多層膜反射鏡(106)是在透明的玻璃基板上鍍Mo/Si多層膜構(gòu)成的，對(duì)反射鏡雙程放大軟X射線激光反射，該多層膜反射鏡(106)的多層膜的正面和背面都具有反射光的作用，且正面和背面的表面互相平行。

3.權(quán)利要求1所述的出光靶裝置的調(diào)節(jié)方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

一、離線調(diào)節(jié)：

①在所述的靶架固定底板(118)上建立直角坐標(biāo)系，該靶架固定底板(118)位于yz平面，該靶架固定底板(118)的左上角頂點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)，該靶架固定底板(118)的寬邊為y軸方向，長邊為z軸方向，垂直方向?yàn)閤軸方向，在所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面的正面垂直方向，即該靶架固定底板(118)的一邊沿y方向設(shè)置第一平行光管(201)，在所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面的正面垂直方向，即所述的靶架固定底板(118)的另一邊沿-y方向設(shè)置第二平行光管(202)，在所述的靶架固定底板(118)的一端沿z方向設(shè)置第三平行光管(203)；在所述的靶架固定底板(118)的上方設(shè)置顯微鏡(301)；

②分別調(diào)節(jié)所述的第二出光靶(102)和第三出光靶(103)的靶托(108)和(109)以及靶平移座(114)和(115)，使第一平行光管(201)和第二平行光管(202)的光軸分別垂直于所述的第一出光靶(101)和第三出光靶(103)的靶面，進(jìn)而使所述的第二出光靶(102)和第三出光靶(103)的靶面處于同一垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，調(diào)節(jié)所述的顯微鏡(301)，使所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線的豎線對(duì)準(zhǔn)第二出光靶(102)與第三出光靶(103)鄰近的端點(diǎn)，沿-z方向平移所述的顯微鏡(301)設(shè)計(jì)要求的距離z₂₃，調(diào)節(jié)所述的第三出光靶(103)的靶托(109)，使所述的第三出光靶(103)與第二出光靶(102)鄰近的端點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡(301)目鏡的十字刻線豎線，通過第二平行光管(202)監(jiān)測并保持所述的第三出光靶(103)的靶面與第二平行光管(202)的光軸垂直，鎖定所述的第二出光靶(102)；

③同樣的方法利用所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線橫線沿y軸方向調(diào)節(jié)所述的第三出光靶(103)，使第三出光靶(103)的靶面與第二出光靶(102)的靶面的間距達(dá)到設(shè)計(jì)的靶面間距y₂₃，鎖定第三出光靶(103)；

④調(diào)節(jié)所述的第一出光靶(101)的靶托(107)以及靶平移座(113)，使第一平行光管(201)的光軸垂直于所述的第一出光靶(101)的靶面，使所述的第一出光靶(101)的靶面處于垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，調(diào)節(jié)所述的顯微鏡(301)使所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線橫線與第二出光靶(102)的靶面重合，調(diào)節(jié)所述的第一出光靶(101)的靶托(107)以及靶平移座(113)，使所述的第一出光靶(101)的靶面與所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線橫線重合；

⑤按照步驟②的方法調(diào)節(jié)所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的兩鄰近靶端之間距達(dá)到設(shè)計(jì)的靶端間距為z₁₂，鎖定第一出光靶(101)；

⑥調(diào)節(jié)所述的第四出光靶(104)的靶托(110)以及靶平移座(116)，使第二平行光管(202)的光軸垂直于所述的第四出光靶(104)的靶面，進(jìn)而使所述的第四出光靶(104)的靶面處于垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，調(diào)節(jié)所述的顯微鏡(301)，使所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線橫線與第三出光靶(103)的靶面重合，調(diào)節(jié)所述的第四出光靶(104)的靶托(110)以及靶平移座(116)，使所述的第四出光靶(104)的靶面與所述的顯微鏡(301)目鏡的十字刻線橫線重合；

⑦按照步驟②的方法調(diào)節(jié)所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的兩鄰近靶端之間距達(dá)到設(shè)計(jì)的靶端間距為z₃₄，鎖定第四出光靶(104)；

⑧利用第二平行光管(202)調(diào)節(jié)所述的輔助靶靶托(111)和輔助靶平移座(117)，使所述的輔助靶(105)的靶面與第二平行光管(202)的光軸垂直，使所述的輔助靶(105)的靶面與所述的第四出光靶(104)的靶面和第三出光靶(103)的靶面處于同一垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，利用第二平行光管(202)和顯微鏡(301)調(diào)節(jié)所述的輔助靶平移座(117)沿-y方向移動(dòng)，使所述的輔助靶(105)的靶面相對(duì)于所述的第四出光靶(104)的靶面間距y₄₅為50～100μm，鎖定所述的輔助靶(105)；

⑨利用所述的第三平行光管(203)調(diào)節(jié)所述的多層膜反射鏡(106)的反射鏡架(112)，使所述的多層膜反射鏡(106)的多層膜背面與所述的第三平行光管(203)的光軸垂直，根據(jù)所述的第三平行光管(203)目鏡上的十字刻線豎線與角度的對(duì)應(yīng)關(guān)系，繞x軸逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)所述的多層膜反射鏡架(112)到設(shè)計(jì)的角度θ，進(jìn)而使所述的多層膜反射鏡(106)工作面與理論計(jì)算出的軟X射線激光出光的方向垂直，完成出光靶裝置的離線調(diào)節(jié)；

二、在線調(diào)節(jié)：

①把完成離線調(diào)節(jié)的出光靶裝置的燕尾形連桿(119)與靶室內(nèi)的電控馬達(dá)的燕尾槽相連，出光靶裝置呈倒懸姿態(tài)；

②在所述的靶室外，對(duì)應(yīng)于出光靶裝置的離線調(diào)節(jié)的第一平行光管(201)、第二平行光管(202)和第三平行光管(203)的位置設(shè)置第四平行光管(401)、第五平行光管(402)和第六平行光管(403)；

③通過靶室內(nèi)的電控馬達(dá)，調(diào)節(jié)所述的出光靶裝置的姿態(tài)，使所述的輔助靶(105)的靶面與第六平行光管(403)視場中的十字刻線豎線重合，完成輔助靶(105)的貼面操作；

④調(diào)節(jié)靶室內(nèi)的電控馬達(dá)，使第一出光靶(101)的靶面與第四平行光管(401)的光軸垂直；

⑤通過電控馬達(dá)使所述的出光靶裝置沿-y方向平移，使所述的第六平行光管(403)中的十字刻線豎線與所述的第四出光靶(104)靶面重合，即完成出光靶裝置的在線調(diào)節(jié)。