[發(fā)明專利]光學位置測量設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110433921.3
• 申請日: 2011-12-16
• 公開（公告）號: CN102589420A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: W·霍爾茨阿普費爾
• 申請（專利權(quán)）人: 約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01D5/347;G01D5/38
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張濤;盧江

1.用于檢測掃描單元和具有測量分度的計量用具的相對位置的光學位置測量設(shè)備，其中所述掃描單元和所述計量用具能沿著至少一個測量方向(x)相對運動，和

一所述掃描單元包括光源、第一圓環(huán)形掃描分度、反射元件、分束元件以及探測單元，和

-從所述光源發(fā)出的射線束射到所述測量分度上，其中分裂成至少兩個分射線束，

-在掃描單元方向上傳播的分射線束經(jīng)由第一掃描分度射到所述反射元件上，

-分射線束從反射元件在測量分度的方向上遭受反射并且在至測量分度的路徑上經(jīng)過第一掃描分度，和

-在重新施加測量分度之后，在掃描單元方向上傳播的分射線束產(chǎn)生疊加并且經(jīng)由分束元件在探測單元方向上遭受轉(zhuǎn)向，其中能檢測多個與位置有關(guān)的相移的掃描信號，

其特征在于，

第一掃描分度(24；124；224；324；424；524.1，524.2；624)這樣被構(gòu)造，使得

-經(jīng)由其從測量分度(11；111；211；311；411；511；611)入射到所述第一掃描分度上的分射線束聚焦到反射元件(25；125；225；325；425；525.1，525.2；625a，625b)上，和

-經(jīng)由其再準直分射線束，所述分射線束在反射元件(25；125；325；425；525.1，525.2；625a，625b)處反射之后在測量分度(11；111；211；311；411；511；611)方向上傳播。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，

-至少一個極化光學器件布置在分裂的分射線束的光程中，經(jīng)由所述至少一個極化光學器件，兩個在測量分度(11；111；211；311；411；511)處分裂的分射線束彼此遭受線性或圓正交極化，和

-在探測單元(26；126；226；326；526.1，526.2)中在多個光電子探測元件(26.4a-26.4c；126.4a-126.4c；326.4a-326.4f；426.4a-426.4f)之前布置極化器(26.3a-26.3c；126.3a-126.3c；326.3a-326.3f；426.3a-426.3f)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，經(jīng)由所述至少一個極化光學器件要么

-在兩個正好相反布置的扇區(qū)中得到分射線束的正交極化，要么

-得到線性極化，所述線性極化在方位角上與地點有關(guān)地在圓周上旋轉(zhuǎn)180°。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，作為極化光學器件，至少一個高頻光柵被布置在分射線束的掃描光程中。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，反射元件(25；125；525.1，525.2)被構(gòu)造為極化光學器件。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，被構(gòu)造為延遲板(227.1，227.2)的多個極化光學器件在分射線束的掃描光程中被布置在測量分度(211)和第一掃描分度(224)之間或者布置在第一掃描分度(224)和反射元件(225)之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學位置測量設(shè)備，其特征在于，在第二次施加測量分度(11；111；211；311；411；511；611)之后，疊加的分射線束沿著光軸傳播。