[發明專利]一種磁控管以及應用該磁控管的磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201110433434.7
• 申請日: 2011-12-21
• 公開（公告）號: CN103177917A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 楊玉杰;耿波
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01J25/50
• 分類號: H01J25/50;H01J23/02;H01J37/34;C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種磁控管，包括極性相反的外磁極和內磁極，在垂直于所述外磁極的中心線的截面上，所述外磁極為閉合的環形，所述內磁極設置在所述環形的外磁極所圍繞而成的腔體內，其特征在于，所述內磁極包括三個以上子內磁極，所述三個以上子內磁極圍繞所述外磁極的中心線設置，從而在所述外磁極和內磁極之間形成與所述子內磁極數量對應地通道。

2.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述子內磁極均勻地設置在所述外磁極的中心線的周圍。

3.根據權利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述子內磁極的數量為三個。

4.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，在所述外磁極的內壁上設有朝向其中心線方向突出的凸部，所述凸部將所述外磁極的內部分隔成數量與所述子內磁極的數量對應的子腔體，每個所述子腔體內設置一個所述子內磁極，從而在所述外磁極和內磁極之間形成與所述子內磁極數量對應地環形通道。

5.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述子內磁極在垂直于所述外磁極的中心線的截面上的形狀為“銀杏葉”形狀或“馬蹄”形狀或扇形。

6.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述內磁極包括內磁極本體和多個第一磁體，所述第一磁體沿所述內磁極本體的輪廓均勻設置；所述外磁極包括外磁極本體和多個第二磁體，所述第二磁體沿所述外磁極本體的輪廓均勻設置，而且，設置在所述內磁極本體上的第一磁體的極性與設置在所述外磁極本體上的第二磁體的極性相反。

7.根據權利要求6所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁體和所述第二磁體為磁鐵。

8.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述外磁極和所述內磁極之間的所述通道的寬度為20～30mm。

9.根據權利要求8所述的磁控管，其特征在于，所述外磁極和所述內磁極之間的所述通道的寬度為25.4mm。

10.一種磁控濺射設備，包括靶材以及設置于靶材上方的磁控管，所述磁控管用以對所述靶材表面進行掃描，其特征在于，所述磁控管采用權利要求1-9中任意一項所述的磁控管。