[發明專利]鎢靶材的制作方法

有效

• 申請號: 201110433274.6
• 申請日: 2011-12-21
• 公開（公告）號: CN102513789A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;宋佳
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00;C22F1/18;C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎢靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供鎢靶材坯料；

對所述鎢靶材坯料表面進行機械加工；

將所述機械加工后的所述鎢靶材坯料放置入真空包套并抽真空；

對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造；

對所述鍛造后的真空包套內的鎢靶材坯料進行壓延；

完成所述壓延后，進行冷卻并去除真空包套。

2.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，將所述機械加工后的所述鎢靶材坯料放置入真空包套后，還進行封死所述包套并從所述包套上引出脫氣管的步驟，所述抽真空步驟是通過所述脫氣管完成的。

3.根據權利要求2所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述抽真空步驟中的真空度至少為10^-3Pa。

4.根據權利要求3所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述抽真空步驟中的真空度至少達到10^-3Pa后，還進行對所述真空包套進行第一熱處理的步驟。

5.根據權利要求4所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述第一次熱處理步驟進行至溫度為200℃～500℃后，進行保溫步驟，所述第一次熱處理過程中，持續抽真空使真空包套內的真空度至少為10^-3Pa，之后進行所述對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造的步驟。

6.根據權利要求5所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述保溫時間為2h～5h。

7.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造步驟之前還包括對真空包套內的鎢靶材坯料進行第二次熱處理的步驟。

8.根據權利要求7所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述第二次熱處理的溫度為900℃～1500℃，并在此溫度下保溫1h～5h。

9.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造步驟之后和對所述鍛造后的真空包套內的鎢靶材坯料進行壓延步驟之前，還包括對真空包套內的鎢靶材坯料進行第三次熱處理的步驟。

10.根據權利要求9所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述第三次熱處理的溫度900℃～1500℃，并在此溫度下保溫0.8h～1h。

11.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造步驟中和對所述鍛造后的真空包套內的鎢靶材坯料進行壓延步驟中所述真空包套的真空度至少為10^-3Pa，且處于被封閉狀態。

12.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述真空包套采用厚度為1.0mm～3.0mm的低碳鋼焊接成型。

13.根據權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述鎢靶材坯料的純度至少為99.9％。