[發(fā)明專(zhuān)利]一種襯底表面噴射裂解硒源的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110433136.8 | 申請(qǐng)日： | 2011-12-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102433550A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張穎武;趙彥民;喬在祥 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C16/455 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C16/455;C23C16/22;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津市鼎和專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 12101 | 代理人： | 李鳳 |
| 地址： | 300381 天*** | 國(guó)省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 襯底 表面 噴射 裂解 方法 | ||
1.一種襯底表面噴射裂解硒源的方法，包括將硒源蒸發(fā)室中的固態(tài)硒加熱，產(chǎn)生硒蒸氣，其特征在于：將所述硒蒸氣進(jìn)入溫度500-800℃的高溫裂解室，硒蒸氣在高溫裂解室內(nèi)穿過(guò)孔徑0.2-0.5mm均勻布滿(mǎn)孔的兩層多孔柵板，硒蒸氣形成裂解硒源，所述裂解硒源通過(guò)溫度大于400-500℃的出氣管道噴射到襯底表面，完成在襯底表面噴射裂解硒源的過(guò)程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底表面噴射裂解硒源的方法，其特征在于：所述高溫裂解室為外部包有陶瓷棉保溫層，內(nèi)壁上還有固裝多孔柵板的凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底表面噴射裂解硒源的方法，其特征在于：所述多孔柵板為氮化硼材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底表面噴射裂解硒源的方法，其特征在于：所述出氣管道上有口部垂直于襯底表面不限數(shù)量的噴孔，所述裂解硒源從出氣管道上的噴孔噴射到襯底表面；出氣管道上的噴口與襯底位于真空室腔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底表面噴射裂解硒源的方法，其特征在于：所述硒源蒸發(fā)室外周均包有陶瓷棉保溫層。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
