[發明專利]一種生產三氯氫硅的裝置及方法

無效

• 申請號: 201110432613.9
• 申請日: 2011-12-21
• 公開（公告）號: CN102530958A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 秦永紅;韓江濤;張世斌;董春青;趙建橋;王國正;馬盈利;石如彥
• 申請（專利權）人: 河南尚宇新能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117
• 代理人: 徐皂蘭

1.一種生產三氯氫硅的裝置，包括硅粉發送倉（1），其特征在于：硅粉發送倉（1）的進料口連接有硅粉進料管道，硅粉進料管道上設有硅粉進料閥（9），硅粉發送倉（1）的出料口端設有硅粉發送倉出料閥（10），硅粉發送倉出料閥（10）出口端連接有硅粉輸送管道（2），硅粉輸送管道（2）上有管路進氣閥（11）,硅粉輸送管道（2）出口端連接有高位料倉（3），高位料倉（3）的底部出口設有干燥器（5），干燥器（5）連接有計量罐（6），計量罐（6）連接有合成爐（7），高位料倉（3）的側面出口端還通過管道連接有除塵器（4），除塵器（4）與干燥器（5）之間設有硅粉回收管道，除塵器（4）通過硅粉回收管道與干燥器（5）連接，管道上設有硅粉回收管道閥（15），除塵器（4）的出口設有排空閥（16），硅粉輸送管道（2）采用陶瓷內襯式復合鋼管。

2.根據權利要求1所述的一種生產三氯氫硅的裝置，其特征在于：硅粉發送倉（1）的倉體上還分別設有氮氣進氣閥（8）和補氣閥（12）。

3.根據權利要求1所述的一種生產三氯氫硅的裝置，其特征在于：硅粉輸送管道（2）的出口端設有高位料倉進料閥（13）。

4.根據權利要求1所述的一種生產三氯氫硅的裝置，其特征在于：高位料倉（3）和除塵器（4）之間的管道上設有排氣閥（14）。

5.根據權利要求1所述的一種生產三氯氫硅的裝置，其特征在于：硅粉進料閥（9）和硅粉發送倉出料閥（10）均采用內襯陶瓷硬密封球閥。

6.一種生產三氯氫硅的方法，其特征在于：第一步、硅粉由布袋盛裝，將硅粉注入硅粉發送倉（1）內；

第二步、關閉硅粉進料閥（9），關閉硅粉發送倉出料閥（10），打開氮氣進氣閥（8），打開補氣閥（12），往硅粉發送倉（1）內充氮氣至0.45Mpa，保持氮氣壓力；

第三步、打開硅粉發送倉出料閥（10），管路進氣閥（11），以壓縮氮氣作為動力，通過硅粉輸送管道（2）和高位料倉進料閥（13）將硅粉輸送到高位料倉（3）內；

第四步、高位料倉（3）的側面有排氣閥（14），排氣閥（14）與除塵器（4）相連，除塵器的作用一方面使高位料倉（3）為負壓，利于硅粉的輸送，一方面用于氣體除塵，減少環境污染；

第五步、除塵后的干凈氣體通過排空閥（16）排入大氣中，布袋過濾下來的硅粉間歇的通過硅粉回收管道閥（15）將硅粉放入干燥器（5）內，干燥器（5）用來干燥硅粉，高位料倉（3）的硅粉利用位差流入干燥器（5）內，硅粉在干燥器（5）內被夾套的蒸汽或熱導熱油加熱得到干燥，干燥氮氣壓力為5~10Kpa，干燥時間為2-3小時；

第六步、干燥后的硅粉再利用位差放入計量罐（6）內備用，當合成爐（7）內壓差變小時低于10-17?Kpa，打開計量罐下部閥，往合成爐（7）內加硅粉，維持合成爐（7）正常反應狀態，合成爐（7）正常反應時壓差為10-17?Kpa，底或中部溫度為310-340℃，反應生成三氯氫硅。