[發(fā)明專利]用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率的微型機(jī)械傳感器以及相應(yīng)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110432509.X
• 申請(qǐng)日: 2011-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN102589539B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T.奧姆斯;R.舍本;T.林德曼;D.C.梅塞爾;B.施密特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): G01C19/5712
• 分類號(hào): G01C19/5712;B81C1/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 曹若,楊國(guó)治

1.用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率的微型機(jī)械傳感器，包括：

-?第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b），其中，第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b）借助彈簧元件（3）彼此連接，

-?用于在第一平面（E）中驅(qū)動(dòng)第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b）的第一和第二驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b），其中，至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）與地震質(zhì)量（2a、2b）中的至少一個(gè)連接，

-?用于補(bǔ)償垂直于第一平面（E）地作用到第一和/或第二驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）的干擾力的補(bǔ)償裝置（5a、5b），

-?用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率的測(cè)量裝置（M）。

2.按照權(quán)利要求1所述的微型機(jī)械傳感器，其中，補(bǔ)償裝置（5a、5b）基本垂直地在驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）的下面和/或上面的區(qū)域中與第一平面（E）間隔設(shè)置。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的微型機(jī)械傳感器，其中，補(bǔ)償裝置（5a、5b），和/或驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）包括至少一個(gè)，特別是兩個(gè)電極。

4.按照權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的微型機(jī)械傳感器，其中，多個(gè)補(bǔ)償裝置（5a、5b）基本平行，和/或垂直于第一平面（E）和第一、第二地震質(zhì)量（2a、2b）的偏移方向（R₁、R₂）地設(shè)置在第二平面（F）中。

5.用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率的方法，它特別適合用按照權(quán)利要求1-4中的任一項(xiàng)所述的微型機(jī)械傳感器執(zhí)行，此方法包括下述步驟：

-?借助第一和第二驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）驅(qū)動(dòng)第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b），其中，第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b）借助彈簧元件（3）彼此連接，

-?第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b）基本在第一平面（E）中振動(dòng)，

-?測(cè)量垂直于第一平面（E）地作用到至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）的干擾力，

-?補(bǔ)償作用到所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）的測(cè)量的干擾力，

-?測(cè)量作用到被驅(qū)動(dòng)的第一和/或第二地震質(zhì)量（2a、2b）的科氏力，

-?借助作用到第一和/或第二地震質(zhì)量（2a、2b）的科氏力求出旋轉(zhuǎn)率。

6.按照權(quán)利要求5所述的方法，其中，借助電磁力，和/或者靜電力進(jìn)行補(bǔ)償。

7.按照權(quán)利要求5-6中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，補(bǔ)償根據(jù)偏移方向（R₁、R₂），和/或根據(jù)偏移（A）變化。

8.按照權(quán)利要求5-7中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，電磁力隨時(shí)間，特別是隨時(shí)間正弦形地變化。

9.用于制造特別是按照權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的微型機(jī)械傳感器的方法，包括下述步驟：

-?設(shè)置第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b），

-?將地震質(zhì)量（2a、2b）中的至少一個(gè)與至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）連接，

-?借助至少一個(gè)彈簧元件（3）連接第一和第二地震質(zhì)量（2a、2b），

-?設(shè)置用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率的測(cè)量裝置（M），

-?設(shè)置用于補(bǔ)償作用到至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置（1a、1b）上的干擾力的補(bǔ)償裝置（5a、5b）。

10.將按照權(quán)利要求1-4中的任一項(xiàng)所述的微型機(jī)械傳感器用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)率。