[發(fā)明專利]制造碳化硅單晶的裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110431762.3
• 申請(qǐng)日: 2011-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN102534770A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徳田雄一郎;原一都;小島淳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社電裝
• 主分類號(hào): C30B25/14
• 分類號(hào): C30B25/14;C30B29/36
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 陳珊;劉興鵬

1.一種制造碳化硅單晶(20)的裝置，其通過(guò)從由碳化硅單晶基片制成的籽晶(5)的下面供應(yīng)用于碳化硅的原料氣體(3)來(lái)在籽晶(5)的表面上生長(zhǎng)碳化硅單晶，該裝置包括：

圓柱形管狀加熱容器(8)，其具有限定反應(yīng)腔的內(nèi)壁表面；

基部(9)，其定位于加熱容器的反應(yīng)腔中并且具有第一側(cè)和與第一側(cè)相反的第二側(cè)，籽晶安裝于基部的第一側(cè)上；

第一凈化氣體入口(8b)，其設(shè)置于加熱容器的內(nèi)壁以引起凈化氣體沿著加熱容器的內(nèi)壁表面流動(dòng)；

凈化氣體源(14)，其用于將凈化氣體供應(yīng)至第一凈化氣體入口；

第二凈化氣體入口(93)，其設(shè)置于基部的外壁以引起凈化氣體沿著基部的外壁表面流動(dòng)；以及

凈化氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)(11)，其用于支撐基部以及用于從基部的第二側(cè)將凈化氣體供應(yīng)至基部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中

第一凈化氣體入口在加熱容器的圓周方向上沿著加熱容器的內(nèi)壁表面圓形地延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中

加熱容器包括管部分(8c)以及具有環(huán)形形狀的第一導(dǎo)向部分(8d)，并且

第一導(dǎo)向部分與管部分的內(nèi)壁表面間隔開以在其間形成第一凈化氣體入口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其中

第一導(dǎo)向部分與管部分的內(nèi)壁表面間隔開預(yù)定的恒定距離，并且

管部分的內(nèi)壁表面與第一導(dǎo)向部分的外壁表面平行。

5.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其中

第一導(dǎo)向部分的內(nèi)徑在原料氣體的流動(dòng)方向上增大。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其中

第一導(dǎo)向部分的內(nèi)壁表面是錐形的以使得第一導(dǎo)向部分的內(nèi)徑在原料氣體的流動(dòng)方向上增大，并且

第一導(dǎo)向部分的內(nèi)壁表面和第一導(dǎo)向部分的外壁表面形成45°或更小的角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其中

加熱容器的管部分具有第一管部件以及與第一管部件相通的第二管部件，

第一管部件的內(nèi)徑在原料氣體的流動(dòng)方向上逐漸地減小，

第一管部件在原料氣體的流動(dòng)方向上定位于第二管部件的下游側(cè)上，并且

第一管部件在原料氣體的流動(dòng)方向上定位于第一凈化氣體入口的下游側(cè)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中

第一凈化氣體入口包括多個(gè)第一凈化氣體入口。

9.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中

加熱容器涂覆有耐熱金屬碳化物。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9的任何一個(gè)的裝置，還包括：

具有環(huán)形形狀的第二導(dǎo)向部分(11b、91c、92b、92e、96)，其中

第二導(dǎo)向部分與基部的外壁表面間隔開以在其間形成第二凈化氣體入口。

11.根據(jù)權(quán)利要求10的裝置，其中

第二導(dǎo)向部分與基部的外壁表面間隔開預(yù)定的恒定距離，并且

第二導(dǎo)向部分的內(nèi)壁表面與基部的外壁表面平行。

12.根據(jù)權(quán)利要求10的裝置，其中

凈化氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)具有管道元件(11a)，凈化氣體通過(guò)管道元件(11a)供應(yīng)至基部，

基部包括結(jié)合至管道元件的結(jié)合部分(91)以及具有第一側(cè)和與第一側(cè)相反的第二側(cè)的安裝部分(92)，

安裝部分的第一側(cè)限定籽晶安裝于此的安裝表面，

結(jié)合部分包括與安裝部分的第二側(cè)裝配的圓柱形管部分(91c)，

結(jié)合部分的管部分的外壁表面限定基部的外壁表面，

安裝部分具有第二導(dǎo)向部分，

第二導(dǎo)向部分從安裝部分的第二側(cè)垂直地伸出，其方式使得第二導(dǎo)向部分的內(nèi)壁表面面向結(jié)合部分的管部分的外壁表面并且與之間隔開以在其間形成第二凈化氣體入口，并且

第二凈化氣體入口的構(gòu)造方式使得通過(guò)第二凈化氣體入口排出的凈化氣體在與原料氣體的流動(dòng)方向相同的方向上沿著結(jié)合部分的管部分的外壁表面流動(dòng)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的裝置，其中

第二導(dǎo)向部分的外徑在原料氣體的流動(dòng)方向上減小。