[發明專利]一種大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法有效
| 申請號： | 201110431555.8 | 申請日： | 2011-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN102520561A | 公開（公告）日： | 2012-06-27 |
| 發明（設計）人： | 鄭婉華;馬傳龍;范學東;馬紹棟;齊愛誼 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G02F1/355 | 分類號： | G02F1/355;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 厚度 周期 極化 電晶體 材料 制備 方法 | ||
1.一種大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，包括：
在鐵電晶體材料的+z面蒸鍍透明電極；
將該蒸鍍有透明電極的鐵電晶體材料的+z面與另一鐵電晶體材料的+z面進行鍵合，得到復合鐵電晶體；
在該復合鐵電晶體上下兩面均蒸鍍金屬電極，然后對蒸鍍金屬電極的復合鐵電晶體進行極化，得到大厚度周期極化鐵電晶體材料。
2.根據權利要求1所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述鐵電晶體材料為鈮酸鋰，或為鉭酸鋰，或為KTP。
3.根據權利要求1所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述制備的大厚度周期極化鐵電晶體材料，其厚度是毫米量級，大于1毫米，其鐵電疇方向呈周期性或準周期性變化。
4.根據權利要求1所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述透明電極為周期或非周期的透明金屬電極，厚度介于20-1000nm。
5.根據權利要求4所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述透明金屬電極是氧化銦錫ITO，或為其他透明金屬電極。
6.根據權利要求1所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述對蒸鍍金屬電極的復合鐵電晶體進行極化，其所需極化電壓是相同厚度鐵電晶體極化電壓的一半。
7.根據權利要求1所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述對蒸鍍金屬電極的復合鐵電晶體進行極化，是在復合鐵電晶體上下兩表面金屬電極接負極，中間透明金屬電極接正極，然后對該復合鐵電晶體施加高脈沖電壓。
8.根據權利要求7所述的大厚度周期極化鐵電晶體材料的制備方法，其特征在于，所述高脈沖電壓是指其電場強度大于晶體的矯頑場強，其大小為幾十kV/mm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院半導體研究所，未經中國科學院半導體研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110431555.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：多條鋼鐵連續退火生產線共享配液中心的控制方法
- 下一篇：顯微鏡的快速移動平臺
