[發(fā)明專利]單晶硅制造裝置爐室結(jié)構(gòu)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110430405.5
• 申請(qǐng)日: 2011-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN103173849A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁文寶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卉欣光電科技（江蘇）有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單晶硅制造裝置爐室結(jié)構(gòu)，它包括副室外殼（1）、主室外殼（2）、石英坩堝（5）、石墨坩堝（7）、石墨加熱器（6）、石墨隔套（8）；所述石英坩堝（5）置于石墨坩堝（7）內(nèi)，石墨加熱器（6）設(shè)置在石墨坩堝（7）的周圍；從石英坩堝（5）內(nèi)的熔硅（4）中拉出柱狀單晶硅（3）；所述石墨隔套（8）套裝在主室外殼（2）內(nèi)壁，將石墨加熱器（6）包圍在其內(nèi)側(cè)空間；在副室外殼（1）側(cè)壁上設(shè)有氬氣進(jìn)口（1.1），在主室外殼（2）下部設(shè)有氬氣出口（2.1）；其特征在于：在所述石墨坩堝（7）、石墨加熱器（6）、石墨隔套（8）上鍍上一層SiC；所述石墨隔套（8）由石墨絕緣材料制成，為上端帶外翻法蘭邊的套狀構(gòu)件，其與主室外殼（2）內(nèi)壁、底壁形成夾腔（8.2）；在石墨隔套（8）的法蘭邊上設(shè)有與夾腔（8.2）相通的孔（8.1），形成軸向氣流通道，在石墨隔套（8）的側(cè)壁上設(shè)有與夾腔（8.2）相通的孔（8.3），形成徑向氣流通道；所述氬氣出口（2.1）與夾腔（8.2）相通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制造裝置爐室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述氬氣出口（2.1）設(shè)在主室外殼（2）的底壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制造裝置爐室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述氬氣出口（2.1）設(shè)在主室外殼（2）的側(cè)壁上。