[發明專利]一種超精密光學元件的微孔拋光方法無效
| 申請號: | 201110429524.9 | 申請日: | 2011-12-15 |
| 公開(公告)號: | CN102513916A | 公開(公告)日: | 2012-06-27 |
| 發明(設計)人: | 張艷;郭云飛;馬瑾 | 申請(專利權)人: | 西安北方捷瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B24B37/02 | 分類號: | B24B37/02;C09G1/18 |
| 代理公司: | 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 | 代理人: | 陳翠蘭 |
| 地址: | 710075 陜西省*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 精密 光學 元件 微孔 拋光 方法 | ||
1.一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)按配方稱取原料,混合,攪拌均勻,冷卻,陳化,配成拋光液;
2)將預拋光的光學元件用摻有丙酮的有機溶劑清洗10min并干燥;
3)將清洗好的光學元件不需刻蝕拋光的地方屏蔽起來;
4)將步驟1)中配制好的拋光液置于25-50℃恒溫水浴鍋中,將光學元件浸入拋光液中浸泡,攪拌溶液,20-30min后取出光學元件,先用3%-7%的氫氧化鈉溶液漂洗,然后用清水沖洗,最后干燥,即完成超精密光學元件的微孔拋光。
2.如權利要求1所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟1)中所述拋光液配方的體積配比為氫氟酸350-400ml、濃硫酸300-350ml以及甘油或用乙二醇50-100ml。
3.如權利要求1或2所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟1)所述配成拋光液,①將氫氟酸緩慢加入到濃硫酸中,邊混合邊攪拌,直至混合溶液冷卻至室溫,陳化過夜;
②向步驟①中的混合溶液中緩慢加入甘油,并充分攪拌,直至混合溶液冷卻至室溫,陳化4h,備用。
4.如權利要求1所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟2)中所述摻有丙酮的有機溶劑為酒精與丙酮按照任意比例混合的溶劑。
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