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[發明專利]一種超精密光學元件的微孔拋光方法無效

專利信息
申請號: 201110429524.9 申請日: 2011-12-15
公開(公告)號: CN102513916A 公開(公告)日: 2012-06-27
發明(設計)人: 張艷;郭云飛;馬瑾 申請(專利權)人: 西安北方捷瑞光電科技有限公司
主分類號: B24B37/02 分類號: B24B37/02;C09G1/18
代理公司: 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 代理人: 陳翠蘭
地址: 710075 陜西省*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 精密 光學 元件 微孔 拋光 方法
【權利要求書】:

1.一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于,包括以下步驟:

1)按配方稱取原料,混合,攪拌均勻,冷卻,陳化,配成拋光液;

2)將預拋光的光學元件用摻有丙酮的有機溶劑清洗10min并干燥;

3)將清洗好的光學元件不需刻蝕拋光的地方屏蔽起來;

4)將步驟1)中配制好的拋光液置于25-50℃恒溫水浴鍋中,將光學元件浸入拋光液中浸泡,攪拌溶液,20-30min后取出光學元件,先用3%-7%的氫氧化鈉溶液漂洗,然后用清水沖洗,最后干燥,即完成超精密光學元件的微孔拋光。

2.如權利要求1所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟1)中所述拋光液配方的體積配比為氫氟酸350-400ml、濃硫酸300-350ml以及甘油或用乙二醇50-100ml。

3.如權利要求1或2所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟1)所述配成拋光液,①將氫氟酸緩慢加入到濃硫酸中,邊混合邊攪拌,直至混合溶液冷卻至室溫,陳化過夜;

②向步驟①中的混合溶液中緩慢加入甘油,并充分攪拌,直至混合溶液冷卻至室溫,陳化4h,備用。

4.如權利要求1所述一種超精密光學元件的微孔拋光方法,其特征在于:步驟2)中所述摻有丙酮的有機溶劑為酒精與丙酮按照任意比例混合的溶劑。

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