[發明專利]一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統

無效

• 申請號: 201110429502.2
• 申請日: 2011-12-20
• 公開（公告）號: CN102445919A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 吳莉;何連洋
• 申請（專利權）人: 北京京儀世紀電子股份有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;C30B29/42;C30B35/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述系統包括：中心控制部分、運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板，所述運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板分別與所述中心控制部分相連；

所述中心控制部分包括通信模塊和可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器通過所述通信模塊和所述操作面板進行通信，以及通過其輸入輸出模塊和所述運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分及水路檢測部分進行通信；

所述運動控制部分包括輔助繼電器、直流驅動器和電機，所述輔助繼電器和所述輸入輸出模塊以及所述直流驅動器相連，所述電機和所述直流驅動器相連；

所述氣體控制部分包括：質量流量計和氣壓控制器，所述質量流量計和氣壓控制器與所述輸入輸出模塊相連；

所述溫度控制部分包括：連接器和多段溫度控制器，所述多段溫度控制器通過所述連接器和所述輸入輸出模塊相連；

所述水路檢測部分包括水溫傳感器、水壓表及水流量傳感器，所述水溫傳感器和所述輸入輸出模塊相連，所述水壓表及所述水流傳感器與所述輸入輸出模塊相連。

2.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述輸入輸出模塊包括數字量輸入輸出模塊和模擬量輸入輸出模塊。

3.如權利要求2所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，數字輸入模塊為施耐德公司的TM5SDI12D型數字量輸入模塊，數字輸出模塊為施耐德公司的TM5SDO12T型數字量輸出模塊，模擬輸入模塊為施耐德公司12位TM5SAI4L型模擬量輸入模塊以及16位的TM5SAI4H型模擬量輸入模塊，模擬輸出模塊為施耐德公司的TM5SAO4L型模擬量輸出模塊。

4.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述電機還包括一編碼器，所述編碼器用于將反饋信號分為兩路，一路作為負反饋信號反饋給所述直流驅動器，與所述直流驅動器構成一閉合回路，另一路反饋給所述可編程邏輯控制器。

5.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，還包括加熱器，所述加熱器和所述多段溫度控制器相連，所述加熱器用于將反饋信號分為兩路，一路作為負反饋信號反饋給所述多段溫度控制器，與所述多段溫度控制器構成一閉合回路，另一路反饋給所述可編程邏輯控制器。

6.如權利要求4或5所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，還包括一信號控制器，所述信號控制器用于將反饋給所述多段溫度控制器的信號控制在預設范圍內。

7.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述可編程邏輯控制器為施耐德公司的M258型可編程邏輯控制器。

8.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述直流驅動器為敬業北微微電機廠的直流力矩控制器PWM1000和機組130LCX-1，或者所述直流驅動器為美國公司的815-BR-21，機組三洋公司生產的電機V730-012。

9.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述溫度控制器為英國公司的3508，美國公司的鉑銠10熱電偶。

10.如權利要求1所述的砷化鎵單晶爐電氣控制系統，其特征在于，所述操作面板為觸控面板。