[發明專利]一種高價離子的產生裝置無效
| 申請號: | 201110428529.X | 申請日: | 2011-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN103165393A | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 李海洋;趙無垛;曲丕丞;王衛國;謝園園 | 申請(專利權)人: | 中國科學院大連化學物理研究所 |
| 主分類號: | H01J49/16 | 分類號: | H01J49/16;H01J37/08 |
| 代理公司: | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人: | 馬馳 |
| 地址: | 116023 *** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高價 離子 產生 裝置 | ||
1.一種高價離子的產生裝置,其特征在于:包括樣品池(1)、電磁脈沖閥(2)、束源室(3)、差分小孔(4)、電離室(5)和脈沖激光光源(6);
束源室(3)和電離室(5)均為一中空的密閉箱體,束源室(3)和電離室(5)的一側壁面相貼接,管路(10)一端接高壓氣源,另一端伸入束源室(3)內,于束源室(3)內的管路出口端設有電磁脈沖閥(2),管路出口面向束源室(3)和電離室(5)貼接的一側壁面,在管路出口正前方的束源室(3)的壁面上設有與電離室(5)相通的差分小孔(4);
在電離室(5)的側壁上設有光窗,并于光窗外設有脈沖激光光源(6),激光光源(6)發出的激光通過光窗進入電離室(5)內;
束源室(3)和電離室(5)上均設有與分子泵相連的排氣口;
一脈沖發生器,分別通過導線與電磁脈沖閥(2)和脈沖激光光源(6)連接。
2.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于:激光焦點(11)處設置有樣品靶,真空室(5)上設置有樣品靶取出/放入口,樣品靶取出/放入口處設有密封蓋。
3.根據權利要求1或2所述的裝置,其特征在于:所述高價離子的產生裝置包括樣品池(1);
具體結構為:上端開口的樣品池(1)內裝填有液體樣品,管(9)伸入樣品池(1)底部,通往樣品池(1)底部的管(9)一端設置有氣體分布器,另一端接高壓氣源;
樣品池(1)的上端開口設有密封蓋,密封蓋與樣品池間通過O圈(8)將樣品池(1)密封;樣品池(1)的密封蓋上設有氣體出口,氣體出口通過管路(10)伸入束源室(3)內。
4.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于:
差分小孔(4)為中空的臺狀圓錐。中心孔從圓錐頂端到圓錐底端逐漸增大;
5.根據權利要求3所述的裝置,其特征在于:
氣體分布器為一中空箱體,箱體表面密布有半徑為0.2~5mm的小孔(7);管(9)一端伸入氣體分布器的空腔內;高壓氣體從小孔冒出時,形成的氣泡均勻且小,從樣品表面冒出時攜帶大量的樣品。
6.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于:
電磁脈沖閥(2)氣體出口、差分小孔(4)、激光焦點(11)處于同軸位置。
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