[發明專利]在汽車發動機氣門挺柱表面制備類金剛石涂層的方法無效
| 申請號： | 201110428096.8 | 申請日： | 2011-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN103160782A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 張俊彥;張斌;張克金;強力;魏曉川;安宇鵬;武斌 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘭州化學物理研究所 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方曉佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 汽車發動機 氣門 表面 制備 金剛石 涂層 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種在汽車發動機氣門挺柱表面制備類金剛石涂層的方法，其特征在于該方法步驟為：
A將汽車發動機氣門挺柱進行常規除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次進行超聲清洗；
B將氣門挺柱置于多靶復合濺射沉積系統中并預抽真空至2×10-3Pa；
C高頻率脈沖磁控濺射粘著層，以Ti、Si靶為陰極，工作氣體為氬氣，沉積時間10～30min；
D反應磁控濺射緩沖層，以Ti、Si靶為陰極，工作氣體為氬氣和甲烷或氬氣和乙烯或氬氣和氮氣，沉積時間30～60min；
E反應濺射沉積成分漸變復合類金剛石涂層，工作氣體為氬氣和甲烷或氬氣和乙烯，沉積時間600～120min；自然冷卻后得到多層類金剛石復合涂層。
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