[發明專利]X射線檢查裝置

無效

• 申請號: 201110422619.8
• 申請日: 2011-12-16
• 公開（公告）號: CN103163163A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 巖尾快彥
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 肖華

技術領域

本發明涉及一種X射線檢查裝置，該裝置利用對各種工業制品等被檢查物照射X射線所得到的X射線圖像，在不破壞的基礎上對被檢查物的內部有無缺陷進行檢查。

背景技術

在不破壞的基礎上對各種工業制品的內部有無缺陷進行檢查的X射線檢查裝置，一般地，具有在X射線發生裝置和X射線檢測器之間配置裝載被檢查物的載物臺的結構，通常載物臺能夠在包括X射線光軸方向(X射線發生裝置與X射線檢測器的連接方向)的三維方向移動。通過使該載物臺向X射線光軸方向移動來改變透視倍率，通過使得載物臺在與之相垂直的平面上移動，可以使得視野中心也發生變化。還有取代載物臺、或者使得X射線發生裝置和X射線檢測器與載物臺一起移動的裝置。

關于在電路基板上裝有的零部件、焊球等的檢查所用的X射線檢查裝置，通常是對作為被檢查物的電路基板上的細微部進行放大透視來進行觀察。因此，存在著難以判斷正在透視的部位是被檢查物上的什么部位的問題。作為這樣的問題的對策，以前，已知有以下這樣的技術，即，以較低的倍率，從而以較廣視野來拍攝被檢查物的透視圖像，并將其儲存，該透視圖像被顯示在顯示器中，通過指定透視圖像上應該被放大透視的位置及大小，使載物臺自動移動以顯示放大圖像的技術。(例如參考專利文獻1)

另外，關于用于這種用途的X射線檢查裝置，由于采用了以獲得高放大率的透視圖像為目的的裝置結構，使得電路基板等被檢查物的整體的X射線透視圖像無法獲得，因此，還已知有以下這樣的技術，即，設置對載物臺上的被檢查物進行拍攝的光學照相機，用該光學照相機從與X射線的透視方向大致相同的方向進行拍攝，如地圖那樣使用該外觀圖像，在該外觀圖像上重疊顯示每時每刻的透視位置，或者在該外觀圖像上指定應該被放大顯示的位置及大小，由此使得載物臺自動移動并顯示放大透視圖像的技術。(例如參考專利文獻2)

再者，對于X射線檢查裝置，在原理上，不能夠以比檢測器尺寸大的視野尺寸顯示X射線透視圖像，因此還已知有具有所謂全景功能的裝置，即，為了要取得廣視野的X射線透視圖像，使載物臺移動的同時拍攝多張透視圖像，將這些圖像拼接起來組成1張廣視野圖像的裝置。(例如參考專利文獻3)

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1日本專利特開2001-255286號公報

專利文獻2日本專利特開2006-343193號公報

專利文獻3日本專利特開2004-037386號公報

發明內容

[發明所解決的課題]

但是，拼接多幅X射線透視圖像而得到1張廣視野透視圖像的具有全景功能的裝置中，已知有在獲得被檢查物的整體圖像的時候也像專利文獻3中所記載的技術一樣，自動檢測被檢查物的邊緣，并對局部圖像進行拍攝的功能，但是在獲得被檢查物的一部分的廣視野透視圖像，指定拍攝范圍的操作往往比較復雜。例如，存在著以下這樣的問題：雖然對從現在的位置開始在縱橫方向上分別拍攝幾幅圖像進行設定的方法已被實際應用，但是在這樣的情況下，難以直觀地把握對什么樣的范圍進行拍攝。

本發明是鑒于這樣的問題而做出的發明，本發明正是以提供一種能夠通過簡單的操作可靠地獲得所需區域的全景透視圖像的X射線檢查裝置為課題。

為了解決上述課題，本發明中的X射線檢查裝置，其在相互相對配置的X射線發生裝置和X射線檢測器之間設有搭載被檢查物的載物臺，且具有移動機構和顯示器，所述移動機構使得該載物臺、X射線發生裝置以及X射線檢測器在包含X射線光軸方向的三維方向上相對移動，所述顯示器將在基于所述載物臺的相對位置的拍攝倍率和拍攝視野下所拍攝的被檢查物的X射線透視圖像顯示于顯示器，所述X射線檢查裝置的特征在于，包括：全景圖像合成單元，其合成通過數次拍攝而得到的多個局部透視圖像，由此合成比該X射線檢查裝置的最低倍率時的圖像的視野廣的區域的透視圖像；光學照相機，其拍攝所述載物臺上的被檢查物；外觀圖像顯示單元，其顯示所述光學照相機所拍攝的被檢查物的外觀圖像；全景拍攝區域指定單元，其利用框在該外觀圖像上指定應通過所述全景圖像合成裝置合成的區域；和局部圖像自動拍攝單元，其在有了該全景拍攝區域指定單元的指定時，自動地驅動所述移動機構，在將拍攝倍率設定為規定倍率的狀態下，對所指定的框內的區域依次進行拍攝，并將所拍攝的圖像作為局部圖像提供給所述全景圖像合成裝置(技術方案1)。