[發明專利]切斷裝置

無效

• 申請號: 201110421772.9
• 申請日: 2011-12-16
• 公開（公告）號: CN102554960A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 古關靖久
• 申請（專利權）人: 平田機工株式會社
• 主分類號: B26D7/08
• 分類號: B26D7/08
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 郭小軍

技術領域

本發明涉及覆蓋基板的覆蓋片的切斷技術。

背景技術

玻璃基板或半導體晶片這樣的基板，為保護其表面有時由覆蓋片覆蓋。例如，在太陽能電池模塊基板中，保護接受太陽光的受光面同時構成太陽能電池模塊基板的多個部件以多層構成，要把這些部件統合在一起構成也要使用覆蓋片。為了去掉覆蓋片中從基板周邊伸出的端緣部，必須將其切斷。因此，提出了切斷覆蓋片的端緣部的裝置(日本特開2001-320069號公報，日本特公平07-049189號公報)。

在這樣的裝置中，為很好地切斷覆蓋片的端緣部，在切斷端緣部的過程中必須保持基板不發生錯位。在日本特開2001-320069號公報中，公開了具備吸附保持基板下面的多個真空吸附頭的裝置。另外，在日本特公平07-049189號公報中，公開了具備夾著保持基板兩側部的基板用夾持器的裝置。

但是，在如日本特公平07-049189號公報所示夾著保持基板的方式中，難以在與夾持器抵接的基板的兩側部對覆蓋片進行修邊，為在基板整周對覆蓋片進行修邊，必須重新握持基板。因此，如日本特開2001-320069號公報所示，吸附基板下面的方式在不必重新握持基板這一點是理想的。另一方面，在對覆蓋片進行修邊時若基板周緣振動，則妨礙順暢地切斷。如日本特開2001-320069號公報所示，在構成為縱橫地配置多個吸附頭的情況下，有時在各尺寸的基板的周緣不能適當地配置吸附頭的情況，會產生不能充分保持基板周緣的情況。而且，為對應多個尺寸的基板必須要有多個吸附頭，在保持小尺寸基板的情況下，存在不被用于吸附的浪費的吸附頭。

發明內容

本發明的目的是根據基板的尺寸更切實地保持其周緣，很好地切斷覆蓋片的端緣部。

根據本發明，提供一種切斷裝置，該切斷裝置保持覆蓋有覆蓋片的矩形基板，將從矩形基板的周緣伸出的所述覆蓋片的端緣部切斷，其特征在于，所述切斷裝置具備周緣保持機構和移動引導機構，該周緣保持機構具備載置所述矩形基板的周緣部的周緣載置部、和吸附所述矩形基板的周緣的周緣吸附部，所述周緣保持機構設置在所述矩形基板的每一個邊上，該移動引導機構對相向的所述周緣保持機構的相互接近/離開方向的移動進行引導。

本發明的其它特征將根據以下實施方式的(參照附圖的)描述而變得明了。

附圖說明

圖1是本發明的一個實施方式的切斷裝置A的俯視圖。

圖2是切斷裝置A的主視圖。

圖3是頭單元H的立體圖。

圖4是頭單元H的一部分構成的分解立體圖。

圖5是驅動單元13的剖視圖。

圖6A是定位按壓單元30的剖視圖。

圖6B是控制裝置300的方框圖。

圖7A是沿圖1的線I-I的周緣保持單元60的剖視圖。

圖7B是沿圖1的線II-II的回收單元80的剖視圖。

圖7C是從回收單元80的端部側觀看該回收單元的圖。

圖8是回收單元80’的說明圖。

圖9是移動引導單元90的說明圖。

圖10A是外側傳送器100的俯視圖。

圖10B是外側傳送器100的側視圖。

圖10C是外側傳送器100的主視圖。

圖10D是外側傳送器100的動作說明圖。

圖11是處在中央保持單元70與外側傳送器100之間的基板1的交接動作的說明圖。

圖12是處在中央保持單元70與外側傳送器100之間的基板1的交接動作的說明圖。

圖13A是沿圖1的線III-III的中央保持單元70及內側傳送器200的剖視圖。

圖13B及圖13C是中央保持單元70及內側傳送器200的動作說明圖。

圖14A及圖14B是示教的說明圖。

圖15是示教的說明圖。

圖16及圖17是定位動作的說明圖。

圖18～圖21是修邊動作的說明圖。

具體實施方式

<裝置的概略>

圖1是本發明的一個實施方式的切斷裝置A的俯視圖，圖2是切斷裝置A的主視圖。另外，在圖2中省略外側傳送器100的圖示。圖中，箭頭X及Y表示在水平方向相互正交的兩個方向，箭頭Z表示垂直方向。