[發(fā)明專利]用氦氣檢測多腔容器密封性的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110421242.4
• 申請日: 2011-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN102539081A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘曉龍
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州中泰深冷技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/20
• 分類號(hào): G01M3/20
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務(wù)所(普通合伙) 33221
• 代理人: 冉國政

1.一種用氦氣檢測多腔容器密封性的方法，包括氦質(zhì)譜檢漏儀（1），順次相連的真空滑閥泵（2）、羅茨泵（3）、高真空擋板閥（4）和集合管（5），及用于密封待測的多腔容器或多個(gè)容器且可充放氦氣的密封裝置，在所述集合管（5）上自左至右至少設(shè)有第一連接管路（6）、第二連接管路（6）、第三連接管路（6）三個(gè)連接管路（6），每個(gè)所述連接管路（6）上設(shè)有用于關(guān)閉和開啟該連接管路（6）的閥FA（7），在該閥FA（7）下方的連接管路（6）上設(shè)有與所述氦質(zhì)譜檢漏儀（1）可拆卸連接的接口JA（8），在該接口JA（8）上設(shè)有用于關(guān)閉和開啟該接口JA（8）的閥FB（9），每個(gè)所述連接管路（6）的下端設(shè)有與待測多腔容器（19）入口可拆卸連接的接口JB（10），其特征在于包括以下步驟：

步驟一：進(jìn)行外漏檢測

將各連接管路（6）的下端接口JB（10）分別與待測多腔容器密（19）的相應(yīng)腔室的入口一一對應(yīng)密封卡接或密封螺接，

將各連接管路（6）的閥FA（7）都打開，將各連接管路（6）的閥FB（9）都關(guān)閉，開啟真空滑閥泵（2）、羅茨泵（3），進(jìn)行抽真空，抽真空完畢后，關(guān)閉各個(gè)閥FA（7），用密封裝置將板翅換熱器（19）密封包住，并在密封裝置內(nèi)充填氦氣，然后，將氦質(zhì)譜檢漏儀（1）依次接各連接管路（6）的接口JA（8），連接時(shí)開啟相應(yīng)的閥FB（9），檢測各腔室的外漏；

步驟二：進(jìn)行內(nèi)漏檢測

將各連接管路（6）的閥FA（7）都關(guān)閉，將氦氣通過第一連接管路（6）?的閥FB（9）?充至多腔容器密（19）的第一腔室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀（1）依次接第二連接管路（6）的接口JA（8）、第三連接管路（6）的接口JA（8），連接時(shí)開啟相應(yīng)的閥FB（9），檢測多腔容器密（19）的第一腔室分別與多腔容器密（19）的第二腔室、第三腔室之間的相互泄漏情況；

將氦氣通過第二連接管路（6）?的閥FB（9）?充至多腔容器密（19）的第二腔室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀（1）接第三連接管路（6）的接口JA（8），連接時(shí)開啟閥FB（9），檢測多腔容器密（19）的第二腔室與多腔容器密（19）的第三腔室之間的相互泄漏情況。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用氦氣檢測多腔容器密封性的方法，其特征在于：在所述羅茨泵（3）與高真空擋板閥（4）之間連有過渡段（11），在所述高真空擋板閥（4）與集合管（5）之間連有波紋管（12）；所述密封裝置包括一氣囊（13），所述氣囊（13）依次通過閥FC（14）、壓縮機(jī)（15）和閥FD（16）與氦氣罐（17）相連，密封裝置內(nèi)的氦氣和多腔容器密（19）腔室內(nèi)的氦氣，通過閥FC（14）、壓縮機(jī)（15）和閥FD（16）與氦氣罐（17）相連，組成氦氣回收系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)氦氣的多次使用；使用中，適當(dāng)添加高純度氦來保持測試濃度的要求。