[發明專利]一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液及其制備工藝

有效

• 申請號: 201110420806.2
• 申請日: 2011-12-16
• 公開（公告）號: CN103255417A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 戈士勇;沈翠芬;盛建偉;袁曉蕾
• 申請（專利權）人: 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23F1/26
• 分類號: C23F1/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述鉬鋁鉬蝕刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、陽離子表面活性劑、金屬硝酸鹽和純水，所述鉬鋁鉬蝕刻液的原料重量百分比分別為：磷酸60％～75％、醋酸5％～15％、硝酸1％～10％、金屬硝酸鹽0.1％～2％、陽離子表面活性劑0.001％～0.5％、其余為純水。

2.如權利要求1所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述金屬硝酸鹽為硝酸鉀，所述硝酸鉀純度高于99.5％。

3.如權利要求2所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述磷酸、醋酸、硝酸濃度分別為：磷酸83％～87％、醋酸99.5％～99.8％、硝酸65％～68％。

4.如權利要求3所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述陽離子表面活性劑為聚丙烯酰胺、苯扎氯銨和苯扎溴銨中的至少一種。

5.如權利要求4所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述鉬鋁鉬蝕刻液中每1000kg顆粒度大于0.3μm的不超過100個，雜質陽離子不超過30ppb，雜質陰離子不超過0.05ppb。

6.一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液的制備工藝，其特征在于，所述制備工藝包括如下加工步驟：

第一步：將強酸性陽離子交換樹脂分別加入到磷酸、醋酸和硝酸中，攪拌混合，然后濾出強酸性陽離子交換樹脂；

第二步：將磷酸、醋酸、硝酸、硝酸鉀、表面活性劑和純水六種原料按權利要求1所述配比稱重配置；

第三步：將磷酸加入配料罐中，攪拌下加入醋酸，將磷酸和醋酸攪拌均勻后，攪拌下加入硝酸，將磷酸、醋酸和硝酸混合均勻；

第四步：往混勻的磷酸、醋酸和硝酸中加入硝酸鉀攪拌，然后加入純水，充分攪拌；

第五步：往第四步所得的混合物中加入表面活性劑，充分攪拌；

第六步：將混合物通入過濾器中過濾，得到所述鉬鋁鉬蝕刻液。

7.如權利要求6所述的鉬鋁鉬蝕刻液的制備工藝，其特征在于，所述強酸性陽離子交換樹脂為強酸性苯乙烯系陽離子交換樹脂。

8.如權利要求7所述的鉬鋁鉬蝕刻液的制備工藝，其特征在于，所述強酸性陽離子交換樹脂與所述磷酸、醋酸和硝酸的質量比為0.2～0.3。

9.如權利要求8所述的鉬鋁鉬蝕刻液的制備工藝，其特征在于，所述過濾的次數大于兩次，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.03～0.10μm，所述過濾在每立方米空氣中顆粒度大于0.5μm的不超過100個的百級凈化環境中進行。

10.如權利要求9所述的鉬鋁鉬蝕刻液的制備工藝，其特征在于，所述攪拌為機械攪拌或磁力攪拌，所述鉬鋁鉬蝕刻液的制備是在常溫、常壓的狀態下進行。