[發(fā)明專利]多臂輕質(zhì)芯片供送機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110419212.X
• 申請(qǐng)日: 2011-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103165500A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉靜;武美萍;張軍;喜超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江南大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多臂輕質(zhì)芯片供送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)方案。該方案采用多臂旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)依次從藍(lán)膜上拾取芯片然后依次放到工作臺(tái)上。旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)主要由旋轉(zhuǎn)盤及旋轉(zhuǎn)電機(jī)組成；旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器將轉(zhuǎn)矩傳到轉(zhuǎn)盤上，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)盤上裝有四個(gè)、六個(gè)或者更多的芯片供送臂。該結(jié)構(gòu)中的電磁吸臺(tái)裝置及彈性恢復(fù)裝置可以實(shí)現(xiàn)擺臂的上下移動(dòng)，從而完成芯片供送臂的依次拾取、放置動(dòng)作；其中電磁吸臺(tái)裝置有兩個(gè)對(duì)稱安裝，一個(gè)驅(qū)動(dòng)供送臂的拾取動(dòng)作，另一個(gè)驅(qū)動(dòng)供送臂的放置動(dòng)作。

2.對(duì)于權(quán)利要求1中所述方案，旋轉(zhuǎn)盤的結(jié)構(gòu)方案；

3.對(duì)權(quán)利要求1中所述方案，多臂安裝結(jié)構(gòu)的方案；

4.對(duì)權(quán)利要求1所述方案，電磁吸臺(tái)結(jié)構(gòu)極其安裝結(jié)構(gòu)的方案；

5.對(duì)權(quán)利要求1所述方案，旋轉(zhuǎn)盤的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝方案，包括對(duì)軸安裝及旁軸安裝兩種方案。?