[發明專利]真空鍍增透膜提高燈具玻璃的光通量的方法無效
| 申請號： | 201110418330.9 | 申請日： | 2011-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN102506383A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 熊樹林 | 申請（專利權）人： | 深圳市杰瑞表面技術有限公司 |
| 主分類號： | F21V3/04 | 分類號： | F21V3/04;F21V5/00;F21Y101/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 增透膜 提高 燈具 玻璃 光通量 方法 | ||
1.一種真空鍍增透膜提高燈具玻璃的光通量的方法，其特征在于包括以下步驟：
(1)提供工件玻璃或塑料；
(2)將工件玻璃或塑料進行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(3)將經前處理的工件玻璃或塑料裝載在工件架上，由傳動系統將工件架導入真空室；
(4)在真空室內預先設有靶材，靶材的材質為Nb、Si或者為Ti、Si，然后向真空室內通入Ar和O2的混合氣體，使真空室的真空度達到10-1Pa；
(5)給靶材通電，使Ar和O2的混合氣體電離，電離后的粒子轟擊靶材，使靶材Nb、Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉積的過程中和O2電離后的氧原子結合形成Nb2O5、SiO2或者TiO2、SiO2，并沉積在工件玻璃或塑料的表面；
(6)控制真空室內傳動系統的運動速度，在工件玻璃或塑料表面先沉積8-12nm的Nb2O5或者SiO2，然后在Nb2O5或者SiO2上再沉積100-120nm的SiO2，使工件玻璃或塑料的透光率從89％提高到94％；
(7)取出工件玻璃或塑料，再進行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(8)將經前處理的工件玻璃或塑料非膜面朝上裝載在工件架上，由傳動系統將工件架導入真空室；
(9)重復步驟(4)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料雙面鍍膜，將單面增透膜的透光率由94％提高到98％。
2.根據權利要求1所述的真空鍍不導電膜的方法，其特征在于：所述步驟(3)及步驟(7)將工件玻璃或塑料進行前處理，前處理包括用純度大于15MΩ的純凈水來清洗工件玻璃或塑料表面。
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