[發(fā)明專利]石墨舟冷卻卸片推車

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110418309.9
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102534554A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 孫良欣;胡盛華;李衛(wèi)平
• 申請（專利權）人: 霞浦吉陽新能源有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京市商泰律師事務所 11255
• 代理人: 毛燕生

技術領域

本發(fā)明涉及一種能有效節(jié)省車間空間的石墨舟冷卻卸片推車，尤其是能將冷卻與卸片同時完成。

背景技術

目前，公知的PE卸片推車只是起到一個簡單的運輸流轉車的作用，它的作用是將從PECVD爐管中鍍膜后的硅片放于卸片臺，推到獨立冷卻系統(tǒng)中進行冷卻。冷卻之后再將推車送至卸片臺處進行卸片工作，從冷卻到卸片，需要兩個裝置，即硅片冷卻系統(tǒng)和卸片臺，這兩種裝置在車間占用了很大的空間，而且從卸片臺到冷卻裝置涉及到搬運及流轉的動作及時間上的浪費。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有的卸片臺存在的空間動作及時間浪費的不足，本發(fā)明推車提供一種石墨舟冷卻卸片推車，該石墨舟冷卻卸片推車不僅能有效的完成卸片的任務，而且能同時達到冷卻的目的。

本發(fā)明解決其技術問題提供石墨舟冷卻卸片推車，本石墨舟冷卻卸片推車的卸片臺有一個總體鋼質(zhì)支架，通過一個固定支架將石墨舟支撐板連接為一個整體，在石墨舟支撐板下固定冷卻裝置，在推車的最頂端安裝有花籃支架用于卸片花籃的擺放，并且可以左右移動，以保證插片工作的方便。

當PECVD程序運行完成后，將石墨舟從爐內(nèi)取出，直接放于石墨舟支撐板上，打開風冷裝置對石墨舟和硅片進行冷卻，同時插片工可對石墨舟進行取片。

本發(fā)明的優(yōu)點是結構簡單，操作方便，可以在卸片的同時，對硅片進行冷卻，減少流轉時間，并能有效的節(jié)省空間。

附圖說明

當結合附圖考慮時，通過參照下面的詳細描述，能夠更完整更好地理解本發(fā)明以及容易得知其中許多伴隨的優(yōu)點，但此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構成本發(fā)明的一部分，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明的不當限定，如圖其中：

圖1為本發(fā)明的結構主視示意圖；

圖2為本發(fā)明的結構側視示意圖；

圖3為本發(fā)明的石墨舟支撐板示意圖。

1.花籃支架，2.石墨舟支撐板，3.冷卻裝置，4.固定支架，5.總體鋼質(zhì)支架。

下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。

具體實施方式

顯然，本領域技術人員基于本發(fā)明的宗旨所做的許多修改和變化屬于本發(fā)明的保護范圍。

實施例1：如圖1、圖2、圖3所示，本石墨舟冷卻卸片推車的卸片臺有一個總體鋼質(zhì)支架5，通過一個固定支架4將石墨舟支撐板2連接為一個整體，在石墨舟支撐板下固定有四個冷卻裝置3在推車的最頂端安裝有花籃支架1用于卸片花籃的擺放，并且可以左右移動，以保證插片工作的方便。

一種冷卻卸片推車，由總體支撐支架，石墨舟支撐板，花籃支架，冷卻裝置及固定支撐組成，安裝有冷卻裝置，將高溫石墨舟從爐管中取出后，放于卸片臺上，可以滿足冷卻石墨舟及硅片的目的，同時也能起到流轉車及卸片臺得多重作用。

所述的推車安裝有花籃支架。

所述的推車安裝有冷卻裝置。

如上所述，對本發(fā)明的實施例進行了詳細地說明，但是只要實質(zhì)上沒有脫離本發(fā)明的發(fā)明點及效果可以有很多的變形，這對本領域的技術人員來說是顯而易見的。因此，這樣的變形例也全部包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。