[發(fā)明專利]有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110417162.1
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102392218A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設計）人: 曹進;容佳玲;王立;張建華
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術領域

本發(fā)明涉及一種真空熱蒸發(fā)工藝設備，特別是涉及一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件。

背景技術

有機半導體技術由于其低成本、可柔性、易于大面積成膜等特點而成為當前研究開發(fā)的熱點，基于有機半導體材料的有機發(fā)光、有機太陽能、有機薄膜晶體管、有機激光、有機存儲、有機傳感器等近年來都在快速的發(fā)展中。有機半導體材料有小分子和聚合物兩種，有機小分子器件一般采用真空熱蒸發(fā)技術制備，而聚合物器件一般采用溶液法制備，由于技術的相對成熟，基于真空熱蒸發(fā)工藝的有機小分子器件近年來得到了相對較快的發(fā)展。

有機小分子器件的制備過程一般是在高真空(10^-3Pa～10^-7Pa)環(huán)境下，通過加熱坩堝內的有機材料使其熔化、揮發(fā)，從而沉積到坩堝上方的基片上，對于有機材料的真空熱蒸發(fā)工藝來說，為提高有機薄膜均勻性，在線性蒸發(fā)源以及坩堝的上方常加上有一定空間分布的出料孔的上蓋，由于有機材料的蒸發(fā)一般使用絕緣的石英、陶瓷坩堝，這些絕緣材料的傳熱性能較差，因此常造成出料孔處材料的聚集和堵塞，從而影響有機材料的蒸發(fā)速率的控制。

鑒于此，實有必要設計一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，用于解決上述技術問題。

發(fā)明內容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，用于解決現(xiàn)有技術中因坩堝出料孔處受熱不均勻，導致蒸發(fā)材料聚集和堵塞，影響有機材料蒸發(fā)速率控制的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本發(fā)明提供一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其設置于外部加熱絲之間加熱，該坩堝組件包括坩堝本體100以及位于所述坩堝本體上的蓋板；所述蓋板上設有若干出料孔，該坩堝組件還包括貫穿所述蓋板的導熱桿，該導熱桿自所述蓋板延伸至坩堝底部。

優(yōu)選地，所述導熱桿自所述蓋板延伸至坩堝內部。

優(yōu)選地，所述導熱桿自所述蓋板延伸至坩堝與外部加熱絲之間。

優(yōu)選地，所述蓋板的材料為金屬材料或者具有傳熱性的絕緣材料。

優(yōu)選地，所述導熱桿的材料為金屬材料或者具有傳熱性的絕緣材料。

優(yōu)選地，所述蓋板的厚度為0.05～0.2mm，所述出料孔大小相等，數(shù)目為四個，呈中心對稱排列，所述導熱桿位于該中心。

優(yōu)選地，所述導熱桿為螺桿。

優(yōu)選地，所述導熱桿與蓋板之間采用螺栓固定。

如上所述，本發(fā)明一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，有效的解決了現(xiàn)有技術中因坩堝出料孔處受熱不均勻，導致蒸發(fā)材料聚集和堵塞，影響有機材料蒸發(fā)速率控制的問題。

附圖說明

圖1顯示為本發(fā)明有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件示意圖。

圖2顯示為本發(fā)明有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件中蓋板的俯視圖。

元件標號說明

坩堝本體????????????????????????????????????????100

蓋板????????????????????????????????????????????101

出料孔??????????????????????????????????????????1011、1012

導熱桿??????????????????????????????????????????102

具體實施方式

以下由特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點及功效。

請參閱圖1至圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本發(fā)明所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本發(fā)明所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本發(fā)明可實施的范疇。