[發明專利]一種紫外LED照明裝置有效
| 申請號: | 201110416805.0 | 申請日: | 2011-12-14 |
| 公開(公告)號: | CN103163739A | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 陳璐玲;張祥翔 | 申請(專利權)人: | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;F21V5/04;F21Y101/02 |
| 代理公司: | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光輝 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 紫外 led 照明 裝置 | ||
1.一種照明裝置,其特征在于:包括位于同一光軸上的光源、耦合透鏡、積分棒、中繼透鏡組、掩模板、物鏡、基板;所述光源為至少一個LED陣列組。
2.根據權利要求1所述照明裝置,其特征在于:所述LED陣列組包含一個LED陣列及與所述LED陣列對應的LED耦合透鏡。
3.根據權利要求1或2所述照明裝置,其特征在于:所述LED陣列發出的光經過所述耦合透鏡后,入射至所述積分棒,入射角度不小于0.3NA(所述物鏡的數值孔徑)。
4.?根據權利要求3所述照明裝置,其特征在于:所述LED陣列組為多個,其中多個LED陣列呈弧形空間排列,形成三維立體排列。
5.?根據權利要求4所述照明裝置,其特征在于:在所述三維立體排列的弧面上,排布所述LED陣列數量為N≤3∏L/d,其中N為LED陣列的排列數量,d為LED陣列的通光孔徑,L為工作距離,∏是空間陣列排布弧面的半徑。
6.?根據權利要求4所述照明裝置,其特征在于:在所述三維立體排列的弧面上,排布所述LED陣列數量為3個,?所述LED陣列組為3*3個。
7.?根據權利要求6所述照明裝置,其特征在于:所述LED陣列發出的光入射到所述LED耦合透鏡,入射角度不小于0.6NA(所述物鏡的數值孔徑)。
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