[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 201110416096.6
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN102683251A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 光吉一郎;柴田英樹;古田智靖
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

技術領域

本發明涉及一種基板處理裝置，在基板處理裝置中，將半導體晶片、液晶顯示器用基板、等離子顯示器用基板、有機EL用基板、FED(Field?EmissionDisplay：場發射顯示器)用基板、光學顯示器用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、太陽能電池用基板(下面，僅稱基板)放入每個收納器的內部，并從收納器取出基板來對基板進行清洗處理、蝕刻處理等各種處理，然后將基板容置在收納器中而送出。

背景技術

以往，作為這種第1裝置具有以下的結構，具有基板處理單元、收納器容置/搬運單元、裝載口，收納器容置/搬運單元具有多個保持架、內部載置部、第1搬運部、第2搬運部(例如，參照日本特開2006-237559號公報)。

基板處理單元用于對基板進行各種處理。收納器容置/搬運單元，與基板處理單元接近排列地設置，容置或搬運FOUP(Front?Opening?Unified?Pod：正面開口標準箱)，其中，FOUP用于容置基板。裝載口與收納器容置/搬運單元接近排列地設置，用于載置FOUP。在裝載口，通過作為自動物料搬運系統(Automated?Material?Handling?System)的無人搬運車(AGV：Automatic?Guided?Vehicles)或架空行走式無人搬運車(Overhead?Hoist?Transfer)交接FOUP。設置在收納器容置/搬運單元中的保持架配置有多個(例如，16個)來保持FOUP。內部載置部配置在收納器容置/搬運單元與多個保持架之間，載置有FOUP。第1搬運部在裝載口和多個保持架之間搬運FOUP。第2搬運部在多個保持架和內部載置部之間搬運FOUP。

在這樣構成的第1裝置中，通過第1搬運部在裝載口和多個保持架之間進行搬運，通過第2搬運部在內部載置部和多個保持架之間進行搬運。因此，這些搬運能夠大致并行地進行，提高FOUP的搬運效率，從而能夠提高基板處理裝置的生產率。

此外，通常自動物料搬運系統在搬運時間內會偏移而不穩定。這成為妨礙提高基板處理裝置的生產率的原因。因此，為了吸收該偏移，提出了增加裝載口的第2裝置(例如，參照日本特開第3521330號公報)以及將架空行走式無人搬運車形成2車道的第3裝置(例如，參照日本特開2010-192855號公報)。

但是，在具有這樣結構的現有例的裝置，存在如下的問題。

即，通常因為通過基板處理單元進行發生化學反應的處理，所以不能縮短在基板處理單元中進行的處理時間。因此，為了提高生產率，增加基板處理單元內所配置的處理槽的數量，來增加能夠并行處理的數量。于是，要增加用于收納處理中的基板的空的FOUP，并要增加FOUP的容置場所。在現有的第1裝置中，在要增加能夠從第1搬運部和第2搬運部這兩個搬運部存取的保持架數量時，會使裝置寬度變寬，或者使裝置的高度變高。但是，如果裝置的寬度變寬，則無塵室內能夠配置的裝置臺數減少，如果裝置的高度變高，則由于與無塵室的天花板高度的關系而使配置受到限制。因此，存在不能最大限度的實現高生產率的性能的問題。

另外，在第2裝置中，因為增加裝載口使裝置的橫向寬度變寬，所以存在對無塵室內可配置的臺數不利的問題。

另外，在第3裝置中，因為架空行走式無人搬運車的價格高，所以對成本不利。而且，通過形成為2車道，裝載口的間距變大而使裝置變長，也存在對設置臺數不利的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而提出的，其目的在于提供一種基板處理裝置，能夠抑制裝置尺寸增加，增加收納器的容納數量，實現裝置的高生產率。

本發明為達成上述的目的，采用如下配置。

一種基板處理裝置，用于處理基板，包括：基板處理單元，用于對基板進行處理，收納器容置單元，與所述基板處理單元接近排列地設置，用于對收納基板的收納器進行容置，收納器容置/搬運單元，與所述收納器容置單元接近排列地設置，用于對收納基板的所述收納器進行容置及搬運，第1載置部，與所述收納器容置/搬運單元接近排列地設置，用于載置所述收納器；所述收納器容置單元具有多個第1保持架，該多個第1保持架用于保持所述收納器；所述收納器容置/搬運單元具有：多個第2保持架，用于保持所述收納器，第2載置部，配置在所述基板處理單元和所述多個第2保持架之間，用于載置所述收納器，第1搬運部，在所述第1載置部和所述多個第2保持架之間搬運所述收納器，第2搬運部，在所述多個第1保持架、所述多個第2保持架和所述第2載置部之間搬運所述收納器。