[發明專利]一種電沉積裝置

有效

• 申請號: 201110415307.4
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN103160865B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 黃林崎
• 申請（專利權）人: 福建省通途材料工程有限公司
• 主分類號: C25C7/00
• 分類號: C25C7/00;C25C7/06;C25D17/00;C25D21/12
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙)11411
• 代理人: 張清彥

技術領域

本發明涉及一種電沉積裝置，屬于電共相沉積法生產微晶金屬技術領域。?

背景技術

現有的一種用于電共相沉積的裝置，如圖1所示，包括陰極1’和陽極2’，工件4’置于陰極1’處，陽極2’為高耐蝕不溶性陽極，陰極1’與陽極2’之間為鹽溶液3’，置于鹽溶液槽(圖未示)內，其中鹽溶液3’為選取各種組分金屬的鹽后按比例預先混合成的鹽溶液，在生產過程中，鹽溶液3’的濃度下降，通過定時添加高濃度混合鹽來補充與維持鹽溶液的濃度。這種裝置產生的問題是：采用的直流電源會發生倒灌現象；鹽溶液的補充靠經驗判斷往往不準確，或者通過化學分析然后再添加補充鹽離子濃度，往往用時長，難以及時維護。?

發明內容

為克服現有技術的缺陷，本發明的目的在于提供一種防止電源電流倒灌、確保合成鹽溶液中各金屬離子濃度的電沉積裝置。?

所采用的技術方案為：?

一種電沉積裝置，包括陰極和陽極，其特征在于：還包括高頻電源與電源分配器，所述電源分配器一端與高頻電源電連接，另一端分別與陽極、陰極電連接；所述陽極由多個陽極組組成，所述陽極組包括陽極套、陽極金屬、陽極板、配重塊及蓋板；所述陽極金屬、陽極板、配置塊置于陽極套內，所述陽極板置于所述陽極金屬上，所述配重塊置于所述透水陽極板的邊端上，所述蓋板蓋于陽極套上。?

優選的，所述陽極組為三組。?

所述電源分配器穿過蓋板與陽極組的陽極板電連接。?

按合成金屬元素數量將陽極套和陽極板分成幾組，根據需求將高頻電源輸出的電流經由電源分配器以時間分配的方式或功率分配的方式施于各陽極板，進一步施于各陽極金屬，陽極金屬作為陽極反應區，從而在生產過程中，確保各陽極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時按比例溶解各陽極金屬，確保合?成鹽溶液中各金屬離子濃度。?

附圖說明

圖1為背景技術電沉積裝置的結構示意圖；?

圖2為本發明的結構示意圖。?

具體實施方式

下面結合附圖，對本發明做進一步的闡述。?

如圖2所示，一種電沉積裝置，包括陰極1、陽極2、高頻電源3與電源分配器4，電源分配器4一端與高頻電源3電連接，另一端分別與陽極2、陰極電連接(圖未示)；陰極1和陽極2之間為鹽溶液6，置于鹽溶液槽(圖未示)內，陽極由3個陽極組組成，每個陽極組包括陽極套21、多塊陽極金屬22、陽極板23、配重塊24及蓋板25；陽極金屬22、陽極板23、配置塊24置于陽極套21內，其中，陽極板23置于陽極金屬22上，配重塊24置于陽極板23的邊端上，蓋板25蓋于陽極套21上。電源分配器4通過導線穿過蓋板25與陽極組的陽極板23電連接。?

按合成金屬元素數量將陽極套21和陽極板23分成三組，根據需求將高頻電源3輸出的電流經由電源分配器4以時間分配的方式或功率分配的方式施于各陽極板23，進一步施于各陽極金屬22，陽極金屬22作為陽極反應區，從而在生產過程中，確保各陽極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時按比例溶解各陽極金屬，確保合成鹽溶液6中各金屬離子濃度。?