[發(fā)明專利]正型感光性樹(shù)脂組成物、硬化膜及其形成方法、層間絕緣膜以及顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110415283.2
• 申請(qǐng)日: 2011-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102540726A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田悟;山﨑健太;杉原幸一;柏木大助;川島敬史;霜山達(dá)也;真崎慶央;下野勝弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/039
• 分類號(hào): G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1333;H01L27/32;H01L21/027
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 經(jīng)志強(qiáng)

1.一種正型感光性樹(shù)脂組成物，其特征在于：包含(A)含有通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹(shù)脂及(C)感放射線酸產(chǎn)生劑：

通式(1)

式中，R¹表示氫原子或甲基，R²表示碳數(shù)1～9的烷基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中還滿足以下的(1)和/或(2)：

(1)(A)含有通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹(shù)脂具有酸不穩(wěn)定基；

(2)該正型感光性樹(shù)脂組成物包含(B)具有酸不穩(wěn)定基的樹(shù)脂。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是含有酸基及交聯(lián)基的樹(shù)脂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中(C)感放射線酸產(chǎn)生劑為肟磺酸酯化合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是含有作為酸解離性基的酸不穩(wěn)定基的樹(shù)脂，所述酸解離性基利用酸的作用而產(chǎn)生羧基或酚性羥基。

6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是含有作為羧基的酸基以及作為酸解離性基的酸不穩(wěn)定基的樹(shù)脂，所述酸解離性基利用酸的作用產(chǎn)生羧基或酚性羥基。

7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂含有下述所表示的結(jié)構(gòu)單元的至少1種：

所述式中，R¹分別表示氫原子或者碳數(shù)1～4的烷基，L¹表示羰基或者亞苯基，R²分別表示碳數(shù)1～4的烷基；n1及n2分別為1～5的整數(shù)，n3為1～4的整數(shù)，n4為1～3的整數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂含有下述通式(2)或通式(3)所表示的結(jié)構(gòu)單元：

通式(2)????通式(3)

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂含有通式(2)所表示的結(jié)構(gòu)單元。

10.根據(jù)權(quán)利要求2至9中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是含有包含氧雜環(huán)丁烷基和/或環(huán)氧基的交聯(lián)基的樹(shù)脂。

11.根據(jù)權(quán)利要求2至10中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中包含(A)含有通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹(shù)脂、及(B)含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述(B)含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是將(a)不飽和羧酸、(b)含有氧雜環(huán)丁烷或者環(huán)氧基的自由基聚合性化合物以及(c)含有酸不穩(wěn)定基的自由基聚合性化合物進(jìn)行共聚合而成的樹(shù)脂。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中所述(B)含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂是將(a)不飽和羧酸、(b)含有氧雜環(huán)丁烷基的自由基聚合性化合物以及(c)含有酸不穩(wěn)定基的自由基聚合性化合物進(jìn)行共聚合而成的樹(shù)脂。

14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中(A)堿可溶性樹(shù)脂是還包含含有酸基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。

15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中(A)堿可溶性樹(shù)脂是還包含來(lái)自苯乙烯的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。

16.根據(jù)權(quán)利要求2至15中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中固體成分的主成分為樹(shù)脂成分，并且包含(A)含有通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹(shù)脂及(B)含有酸不穩(wěn)定基的堿可溶性樹(shù)脂作為該樹(shù)脂成分，且相對(duì)于總固體成分而在0.1％～10％的范圍內(nèi)包含(C)感放射線酸產(chǎn)生劑。

17.根據(jù)權(quán)利要求1至16中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組成物，其中還包含(D)交聯(lián)劑。