[發明專利]一種用于等離子體浸沒注入中劑量檢測裝置

有效

• 申請號: 201110412965.8
• 申請日: 2011-12-12
• 公開（公告）號: CN103165371A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 李超波;汪明剛;屈芙蓉;夏洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/32;G01T1/02
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種用于等離子體浸沒注入中劑量檢測裝置，其特征在于，包括：

等離子體浸沒注入系統，用于注入離子；

離子成分與組分診斷單元，用于確定注入離子的種類、每種離子的電荷數以及每種離子占總離子數的比例；

注入離子電流檢測單元，用于探測離子所形成的電流；

離子電流信號檢出單元，用于檢出注入離子電流檢測單元探測到的電流；

信號處理與控制單元，用于根據注入離子的種類、每種離子的電荷數、每種離子占總離子數的比例以及離子電流信號檢出單元檢出的電流獲得離子的注入劑量。

2.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述離子成分與組分診斷單元為質譜儀。

3.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述注入離子電流檢測單元為法拉第杯、偏壓電極或者金屬電極。

4.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述離子電流信號檢出單元具有濾波功能。

5.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述信號處理與控制單元按照下述公式計算時間段T內第i種離子注入劑量：

ni=1eciΣjmjcj∫0TIdt;]]>

其中，n_i為第i種離子注入劑量，e為單位電荷數，c_i為第i種離子占總離子數的比例，c_j為第j種離子占總離子數的比例，m_j為第j種離子的電荷數，I為離子電流信號檢出單元檢出的電流；i＝1，2，……，m；j＝1，2，……，m；m為離子種類數。

6.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述信號處理與控制單元按照下述公式計算時間段T內k種離子注入劑量：

Σi=jkni=1eΣi=jkciΣjmjcj∫0TIdt;]]>

其中，為k種離子注入劑量，e為單位電荷數，c_j為第j種離子占總離子數的比例，m_j為第j種離子的電荷數，I為離子電流信號檢出單元檢出的電流；j＝1，2，……，m；m為離子種類數。