[發明專利]高轉化率鍺烷的制備方法無效
| 申請號: | 201110412329.5 | 申請日: | 2011-12-13 |
| 公開(公告)號: | CN103159175A | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 李月平 | 申請(專利權)人: | 李月平 |
| 主分類號: | C01B6/06 | 分類號: | C01B6/06 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 轉化 率鍺烷 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種高轉化率鍺烷的制備方法,屬于特種氣體制備方法領域。
背景技術
鍺烷是一種有毒、易燃、無色氣體,廣泛應用于電子行業、太陽能電池、化學氣相淀積、非晶硅等領域。在半導體集成電路、電子元器件的制造以及太陽能電池中,都需要使用高純度鍺烷氣體。目前國內每年鍺烷氣體的需求量為1400噸左右,而國內將建和已建的純度為3-4N鍺烷氣體生產線年產量僅1100多噸,遠遠不能滿足國內市場的需求,仍需大量進口鍺烷以填補市場空缺。特別是高純度鍺烷氣體因生產技術水平有限,全部依靠進口來解決。隨著新能源理念的提出,國內太陽能工業的發展,對鍺烷的需求將以每年30%遞增。鍺烷是半導體工業的關鍵原料,是非晶硅薄膜太陽能光伏發電的核心原料。世界半導體制造中心正向中國大陸轉移,太陽能等新能源正被國家大力提倡和推廣,我國對高純度鍺烷氣體的需求將相當可觀,市場前景看好。
上世紀五六十年代,形成了多種制備鍺烷的方法。T.S.Piper和M.K.Wilson在1957年首次提出將GeO2溶解在沸騰的HBr酸中制得鍺烷,鍺烷的轉化率為73%,但所得的鍺烷和揮發的HBr不易分離,提純困難,并不實用。此外還有氫化鋁鋰法,用KOH,GeO2,KBH4溶液體系和酸反應制備鍺烷的方法,用鹵化鍺(如GeCl4)與鹵代烷基鋁化物反應制備鍺烷。上述方法在工藝上并無太多變化。方法雖多,但綜合成本、提純以及轉化率等方面考慮,鍺烷的制備工藝仍然有待改進。
發明內容
本發明的目的在于提供一種高轉化率鍺烷制備的方法。本發明所采用的技術方案是:
以鍺化鎂和氯化銨為制備鍺烷的主要原料,并以液氨作為反應介質,反應方程式如下:
Mg2Ge+4NH4Cl一GeH4+2MgCl2+4NH3
將鍺化鎂和氯化銨按物質的量之比1∶4均勻混和后裝入鍺烷發生系統,待系統抽真空至11Pa以下后通入液氨,液氨的總用量為氯化銨重量的4-9倍,反應時間為25-60min,反應完全后將生成的氣體經過粗提純后用鍺烷收集系統收集,得到鍺烷。
用此法制備鍺烷,工藝簡單易操作,成本相對較低;鍺烷的轉化率高,雜質含量少,易于提純。
具體實施方式
實施例1:
用鍺粉和鎂粉合成鍺化鎂;將60.5g(0.5mol)經過研磨細化的鍺化鎂和107g(2mol)氯化銨均勻混合后裝入鍺烷發生系統;檢查系統的氣密性后,用旋片真空泵將系統抽真空;待真空度降至11Pa以下后通入490ml(302.5g)液氨,開始反應;30min后將生成的氣體經過粗提純后用鍺烷收集系統收集,得到鍺烷。
實施例2:
用鍺粉和鎂粉合成鍺化鎂;將363g(3mol)經過研磨細化的鍺化鎂和642g(12mol)氯化銨均勻混合后裝入鍺烷發生系統;檢查系統的氣密性后,用旋片真空泵將系統抽真空;待真空度降至11Pa以下后通入4707ml(2904g)液氨,開始反應;45min后將生成的氣體經過粗提純后用鍺烷收集系統收集,得到鍺烷。
實施例3:
用鍺粉和鎂粉合成鍺化鎂;將242g(2mol)經過研磨細化的鍺化鎂和428g(8mol)氯化銨均勻混合后裝入鍺烷發生系統;檢查系統的氣密性后,用旋片真空泵將系統抽真空;待真空度降至11Pa以下后通入3922ml(2420g)液氨,開始反應;60min后將生成的氣體經過粗提純后用鍺烷收集系統收集,得到鍺烷。
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