[發(fā)明專利]激光自混合型加速度傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110410557.9 | 申請日： | 2011-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN102411065A | 公開（公告）日： | 2012-04-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 呂亮;俞本立;朱軍;曹志剛;翟龍華;楊竟宇;趙云鶴;杜正婷 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽大學(xué) |
| 主分類號： | G01P15/03 | 分類號： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230039*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 混合 加速度 傳感器 | ||
1.一種激光自混合型加速度傳感器，其特征是具有：
一圓柱殼(1)，在其內(nèi)部形成一封閉腔，所述圓柱殼(1)與被測物體固定連接；
一彈性膜片(3)，位于圓柱殼封閉腔的橫斷面上，所述彈性膜片(3)是以周邊支撐在所述圓柱殼(1)的內(nèi)側(cè)壁上；在所述彈性膜片(3)的中央，固定設(shè)置一敏感質(zhì)量塊(4)；
一半導(dǎo)體激光器(2)，是以剛性支架固定設(shè)置在圓柱殼封閉腔內(nèi)，與所述敏感質(zhì)量塊(4)處在同軸位置上；以光電探測器(7)、驅(qū)動和調(diào)制單元(8)和信號處理單元(9)與所述半導(dǎo)體激光器(2)共同構(gòu)成信號傳感單元；其中，所述半導(dǎo)體激光器(2)用于向敏感質(zhì)量塊(4)發(fā)出光信號，并接收來自敏感質(zhì)量塊的反饋光信號；所述光電探測器(7)作為光電信號轉(zhuǎn)換單元；所述驅(qū)動和調(diào)制單元(8)通過改變半導(dǎo)體激光器(2)的注入電流或其它相關(guān)參數(shù)調(diào)制半導(dǎo)體激光器(2)的光源強度、波長、激光相位或激光偏振態(tài)；所述信號處理單元(9)接收光電探測器(7)的輸出信號，并輸出加速度檢測信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光自混合型加速度傳感器，其特征是在所述敏感質(zhì)量塊(4)的表面具有金屬反光鍍層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光自混合型加速度傳感器，其特征是在所述半導(dǎo)體激光器(2)的前端設(shè)置透鏡或透鏡組(10)，以所述透鏡或透鏡組(10)調(diào)節(jié)半導(dǎo)體激光器(2)出射光強和所獲得的反饋光光強。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光自混合型加速度傳感器，其特征是所述半導(dǎo)體激光器(2)為F-P激光器、DFB激光器或VCSEL激光器。
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