[發明專利]阻抗匹配器、半導體設備和阻抗匹配方法

無效

• 申請號: 201110409326.6
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN103166595A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 成曉陽
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H03H7/38
• 分類號: H03H7/38
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種阻抗匹配器，包括阻抗傳感器、與射頻電源和所述阻抗傳感器連接的阻抗匹配網絡、與所述阻抗傳感器連接的運算控制單元和與所述運算控制單元以及所述阻抗匹配網絡連接的執行單元，其特征在于，所述阻抗傳感器包括：與所述阻抗匹配網絡連接的采樣模塊、與所述采樣模塊連接的濾波模塊和與所述濾波模塊以及所述運算控制單元連接的信號處理模塊；

所述采樣模塊，用于對所述阻抗匹配網絡的輸入端進行測量，得出阻抗測量信號；

所述濾波模塊，用于對所述阻抗測量信號進行濾波處理，以濾除所述阻抗測量信號中的特定頻率的干擾信號；

所述信號處理模塊，用于對濾波處理后的阻抗測量信號進行運算處理，生成所述阻抗匹配網絡的輸入阻抗相關信號；

所述運算控制單元，用于根據所述射頻電源的輸出阻抗對所述輸入阻抗相關信號進行運算處理，生成阻抗調節數據；

所述執行單元，用于根據所述阻抗調節數據對所述阻抗匹配網絡進行調節，以使調節后的所述阻抗匹配網絡的輸入阻抗和所述射頻電源的輸出阻抗共軛匹配。

2.根據權利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述射頻電源包括低頻電源，所述濾波模塊包括低通濾波電路、高頻帶通濾波電路或者高頻帶阻濾波電路，所述特定頻率的干擾信號包括高頻干擾信號。

3.根據權利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述濾波模塊包括低通濾波電路，所述低通濾波電路包括第一電感和第一電容；

所述第一電感的輸入端連接至所述采樣模塊，所述第一電感的輸出端連接至所述第一電容的輸入端和所述信號處理模塊，第一電容的輸入端連接至所述信號處理模塊，所述第一電容的輸出端接地。

4.根據權利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述濾波模塊包括高頻帶通濾波電路，所述高頻帶通濾波電路包括第二電容、第二電感、第三電容、第三電感、第四電容和第四電感；

所述第二電容的輸入端連接至所述采樣模塊，所述第二電容的輸出端連接至所述第二電感的輸入端，所述第二電感的輸出端、所述第三電容的輸入端、所述第三電感的輸入端和所述第四電容的輸入端相互連接，所述第三電容的輸出端接地，所述第三電感的輸出端接地，所述第四電容的輸出端連接至所述第四電感的輸入端，所述第四電感的輸出端連接至所述信號處理模塊。

5.根據權利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述濾波模塊包括所述高頻帶阻濾波電路，所述高頻帶阻電路包括第五電容、第五電感、第六電容、第六電感、第七電容和第七電感；

所述第五電感和所述第五電容并聯連接，所述第七電感和所述第七電容并聯連接，所述第五電感的輸入端和所述第五電容的輸入端連接至所述采樣模塊，所述第五電感的輸出端、所述第五電容的輸出端、所述第六電容的輸入端、所述第七電感的輸入端和所述第七電容的輸入端相互連接，所述第六電容的輸出端連接至所述第六電感的輸入端，所述第六電感的輸出端接地，所述第七電容的輸出端和所述第七電感的輸出端連接至所述信號處理模塊。

6.根據權利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述射頻電源包括高頻電源，所述濾波模塊包括高通濾波電路、低頻帶通濾波電路或者低頻帶阻濾波電路，所述特定頻率的干擾信號包括低頻干擾信號。

7.根據權利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述濾波模塊包括高通濾波電路，所述高通濾波電路包括第八電容和第八電感；

所述第八電容的輸入端連接至所述采樣模塊，所述第八電容的輸出端連接至所述第八電感的輸入端和所述信號處理模塊，第八電感的輸入端連接至所述信號處理模塊，所述第八電感的輸出端接地。

8.根據權利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，若所述濾波模塊包括低頻帶通濾波電路，所述低頻帶通濾波電路包括第九電容、第九電感、第十電容、第十電感、第十一電容和第十一電感；

所述第九電容的輸入端連接至所述采樣模塊，所述第九電容的輸出端連接至所述第九電感的輸入端，所述第九電感的輸出端、所述第十電容的輸入端、所述第十電感的輸入端和所述第十一電容的輸入端相互連接，所述第十電容的輸出端接地，所述第十電感的輸出端接地，所述第十一電容的輸出端連接至所述第十一電感的輸入端，所述第十一電感的輸出端連接至所述信號處理模塊。