[發明專利]光阻圖案的形成方法無效
| 申請號： | 201110409304.X | 申請日： | 2006-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN102520580A | 公開（公告）日： | 2012-06-27 |
| 發明（設計）人： | 澤邊賢;野尻剛 | 申請（專利權）人： | 日立化成工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鮮英;王未東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
1.光阻圖案的形成方法，其是在基材上將感光性組件以感光層與所述基材密著的方式層疊，將活性光線以圖像狀照射，將曝光部用pH值為9～11的堿性水溶液顯影而除去，所述感光性組件具備支撐體與在該支撐體上所形成的由感光性樹脂組合物構成的感光層，所述感光性樹脂組合物含有(a)由酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物、與(b)1，2-重氮醌化合物。
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