[發明專利]電磁力驅動無回流微升精度微泵

無效

• 申請號: 201110408415.9
• 申請日: 2011-12-08
• 公開（公告）號: CN102425538A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 席文明
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所 35200
• 代理人: 馬應森

1.電磁力驅動無回流微升精度微泵，其特征在于設有線圈、線圈支架、永磁體、壓板、泵腔膜片、泵體和單向閥；

所述線圈繞制在線圈支架上，壓板設在泵體上，壓板用于將線圈支架壓緊在泵體的上表面；所述永磁體設在泵腔膜片中，泵腔膜片設在泵體的上表面；所述泵體內設有泵腔；

所述單向閥設有單向閥上板、單向閥膜片和單向閥下板，所述單向閥上板、單向閥膜片和單向閥下板壓合在一起；所述單向閥上板的左邊設有左上板孔，所述單向閥膜片的左邊設有4個左膜片孔，所述單向閥下板的左邊設有左下板孔，所述單向閥上板的左上板孔、單向閥膜片的4個左膜片孔和單向閥下板的左下板孔組成左單向閥；所述單向閥上板的右邊設有右上板孔，所述單向閥膜片的右邊設有4個右膜片孔，所述單向閥下板的右邊設有右下板孔，所述單向閥上板的右上板孔、單向閥膜片的4個右膜片孔和單向閥下板的右下板孔組成右單向閥；所述左上板孔的孔徑小于右上板孔的孔徑；所述左下板孔的孔徑大于右下板孔的孔徑；所述左上板孔的位置與左下板孔的位置對應，所述左膜片孔的位置與左下板孔的位置對應；所述右上板孔的位置與右下板孔的位置對應，所述右膜片孔的位置與右下板孔的位置對應。

2.如權利要求1所述的電磁力驅動無回流微升精度微泵，其特征在于所述壓板通過螺釘連接在泵體上。

3.如權利要求1所述的電磁力驅動無回流微升精度微泵，其特征在于所述永磁體澆注在泵腔膜片中。

4.如權利要求1所述的電磁力驅動無回流微升精度微泵，其特征在于所述泵腔膜片和單向閥膜片使用氧離子氣體進行表面處理后，再將泵體和泵腔膜片兩者壓合在一起。

5.如權利要求1所述的電磁力驅動無回流微升精度微泵，其特征在于所述單向閥上板采用聚二甲基硅氧烷粘連在泵體的下表面。