[發明專利]一種空心硅芯的拉制方法

有效

• 申請號: 201110408282.5
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN103159215A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 劉朝軒;王晨光
• 申請（專利權）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種空心硅芯的拉制方法，包括用于融化晶體(11)的坩堝(10)和加熱套(4)；用于拉制管狀硅芯(3)的導模結構，其特征是：所述用于融化晶體(11)的坩堝(10)和加熱套(4)，在坩堝(10)的外部間隔設有加熱套(4)，坩堝(10)的下部設有支撐體(12)，模板(8)設置在坩堝(10)內，所述模板(8)的模板上面(13)設有環形槽(6)，環形槽(6)內設有貫通模板(8)下部的液體晶體通路(7)；對應模板上面(13)環形槽(6)的籽晶夾頭上設有管狀籽晶(1)；

所述拉制方法包括如下步驟：

A、坩堝放料：

把干凈的晶體(11)料放入坩堝(10)，所述晶體(11)的高度不得超出模板(8)的模板上面(13)，將晶體料平整壓實，然后將模板(8)放置在坩堝(10)內，所述模板(8)的外緣面或上部面與定位機構(5)連接，所述模板(8)與定位機構(5)隨動；坩堝(10)的支撐體(12)使所述坩堝獨立且不與加熱套(4)接觸；

B、加熱坩堝融化晶體料：

開啟加熱套(4)對坩堝(10)進行加熱至坩堝(10)內的晶體(11)料融化，所述的晶體(11)料融化為液體；

C、拉制管狀硅芯：

仔晶夾頭帶著管狀籽晶(1)下降，管狀籽晶(1)的籽晶下端(2)插入相匹配模板(8)的環形槽(6)中并插入環形槽(6)內熔化的晶體料液體中，然后提升管狀籽晶(1)，坩堝(10)內熔化的晶體(11)料液會跟隨管狀籽晶(1)上升，脫離了模板(8)的環形槽(6)晶體(11)結晶形成管狀硅芯(3)；

D、出成品：

通過上述步驟晶體料液體便形成了一個新的管狀硅芯(3)體，所述管狀籽晶(1)在仔晶夾頭夾帶下緩慢上升，便可形成所需長度的成品管狀硅芯(3)；

E、重復上述步驟便可實現多次晶體拉制過程的管狀硅芯(3)拉制。

2.根據權利要求(1)所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述坩堝(10)與加熱套(4)之間的間距為3～10公分。

3.根據權利要求1所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：在籽晶夾頭或管狀籽晶(1)上設有間隙或通孔，由所述間隙或通孔形成提拉過程中的進氣通路。

4.根據權利要求1所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述模板(8)內設有環繞模板(8)的冷卻介質通道或所述模板(8)為鎢、鉬、石墨中任一熔點高于晶體(11)熔點的材質制作。

5.根據權利要求1所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述模板(8)的外緣為圓形或多角形。

6.根據權利要求1所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：在模板(8)的模板上面(13)設置的環形槽(6)相對的模板下面上設有環形通路(9)，所述環形通路(9)與環形槽(6)之間打有多個孔，由所述孔形成液體晶體通路(7)。

7.根據權利要求6所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述環形通路(9)與環形槽(6)之間的多個孔另一替換結構為環形通路(9)與環形槽(6)貫通，在環形槽(6)下部的環形通路(9)上設有至少兩個連接環形通路(9)外部壁和內部壁的連接點。

8.根據權利要求6或7所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述模板(8)的模板上面(13)設置的環形槽(6)為至少一個。

9.根據權利要求6或7所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：所述模板(8)的模板上面(13)設置的環形槽(6)為圓形或多角形。

10.根據權利要求1所述的空心硅芯的拉制方法，其特征是：模板(8)的外緣面或上部面與定位機構(5)連接，所述定位機構(5)與加熱套(4)連接，加熱套(4)為具有上移或下移的動態設置。