[發(fā)明專(zhuān)利]表面處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110408194.5
• 申請(qǐng)日: 2009-02-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102392288A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田英樹(shù);小浜航平;植村哲朗;佐藤隆;濱田良介
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上村工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C25D17/00
• 分類(lèi)號(hào): C25D17/00
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 劉佳

1.一種表面處理機(jī)，其一邊使收容了工件的處理容器旋轉(zhuǎn)一邊向處理容器內(nèi)供給表面處理液，對(duì)工件實(shí)施表面處理，其特征在于，

包括將陽(yáng)極以可用于表面處理的形態(tài)予以支撐的陽(yáng)極支撐機(jī)構(gòu)，

陽(yáng)極支撐機(jī)構(gòu)包括保管陽(yáng)極的陽(yáng)極保管槽。

2.一種表面處理機(jī)，其一邊使收容了工件的處理容器旋轉(zhuǎn)一邊向處理容器內(nèi)供給表面處理液，對(duì)工件實(shí)施表面處理，其特征在于，

包括將陽(yáng)極以可用于表面處理的形態(tài)予以支撐的陽(yáng)極支撐機(jī)構(gòu)，

陽(yáng)極支撐機(jī)構(gòu)包括：

支撐陽(yáng)極的陽(yáng)極支撐部件；

支撐陽(yáng)極承接盤(pán)的承接盤(pán)支撐部件；

通過(guò)陽(yáng)極支撐部件使陽(yáng)極上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)；

通過(guò)陽(yáng)極支撐部件使陽(yáng)極水平移動(dòng)的陽(yáng)極移動(dòng)機(jī)構(gòu)；

通過(guò)承接盤(pán)支撐部件使陽(yáng)極承接盤(pán)水平移動(dòng)的承接盤(pán)移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及

連接陽(yáng)極支撐部件和承接盤(pán)支撐部件的連接機(jī)構(gòu)，

當(dāng)陽(yáng)極通過(guò)陽(yáng)極移動(dòng)機(jī)構(gòu)從陽(yáng)極保管槽的上方或從處理容器的上方開(kāi)始移動(dòng)并且陽(yáng)極承接盤(pán)通過(guò)承接盤(pán)移動(dòng)機(jī)構(gòu)位于陽(yáng)極下方時(shí)，連接機(jī)構(gòu)將兩個(gè)支撐部件連接。

3.如權(quán)利要求2所述的表面處理機(jī)，其特征在于，陽(yáng)極支撐部件具有：將陽(yáng)極保持在前端部的水平臂、從水平臂的基端部上下延伸的軸體，

承接盤(pán)支撐部件具有：在前端部支撐陽(yáng)極承接盤(pán)的水平臂、從水平臂的基端部以圍住陽(yáng)極支撐部件的所述軸體的形態(tài)朝上方延伸的筒體，

升降機(jī)構(gòu)設(shè)置成使陽(yáng)極支撐部件的所述軸體上下移動(dòng)，

陽(yáng)極移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置成使陽(yáng)極支撐部件的所述軸體繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，

承接盤(pán)移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置成使承接盤(pán)支撐部件的所述筒體繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，

連接機(jī)構(gòu)通過(guò)固定在承接盤(pán)支撐部件的所述筒體上的把持機(jī)構(gòu)對(duì)陽(yáng)極支撐部件的所述軸體進(jìn)行把持來(lái)連接兩個(gè)支撐部件。